干涉儀維護：1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動時，應托住底座，以防導軌變形。2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和yi mi混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。6、經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。環境補償模塊（ECU）。深圳3D激光干涉儀

利用不同構形的彈性敏感元件可測量各種物體的應力、應變、壓力、扭矩、加速度等機械量。半導體應變片與電阻應變片(見電阻應變片相比，具有靈敏系數高（約高 50～100倍）、機械滯后小、體積小、耗電少等優點。P型和N型硅的靈敏系數符號相反，適于接成電橋的相鄰兩臂測量同一應力。早期的半導體應變片采用機械加工、化學腐蝕等方法制成，稱為體型半導體應變片。它的缺點是電阻和靈敏系數的溫度系數大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應用和發展。自70年代以來，隨著半導體集成電路工藝的迅速發展，相繼出現擴散型、外延型和薄膜型半導體應變片，上述缺點得到一定克服。半導體應變片主要應用于飛機、導彈、車輛、船舶、機床、橋梁等各種設備的機械量測量。3D激光干涉儀平面度測量膨脹計：熱膨脹和磁致伸縮測量。

“光伏效應”。指光照使不均勻半導體或半導體與金屬結合的不同部位之間產生電位差的現象。它首先是由光子（光波）轉化為電子、光能量轉化為電能量的過程；其次，是形成電壓過程。有了電壓，就像筑高了大壩，如果兩者之間連通，就會形成電流的回路。光伏發電，其基本原理就是“光伏效應”。太陽能**的任務就是要完成制造電壓的工作。因為要制造電壓，所以完成光電轉化的太陽能電池是陽光發電的關鍵。簡單來說就是在光作用下能使物體產生一定方向電動勢的現象。基于該效應的器件有光電池和光敏二極管、三極管。

單頻激光干涉儀:從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統及低溫恒溫器。

電測量指示儀表的分類可分為：（1）按相別分：單相、三相三線、三相四線等。（2）按功能及用途分：有功電表、無功電表、比較大需量表、復費率電表、多功能電表、銅損表、鐵損表等。（3）按工作原理分：感應式、電子式、機電式等。電力系統各類電表的技術要求（1）接入中注點絕緣系統的電能計量裝置，應采用三相三線有功、無功電表。接入非中性點絕緣系統的電能計量裝置，應采用三相四線有功、無功電表或3只感應式無止逆單相電表。（2）接入中性點絕緣系統的3臺電壓互感器，35kV及以上的宜采用Y/y方式接線；35kV以下的宜采用V/V方式接線。接入非中性點絕緣系統的3臺電壓互感器，宜采用Y0/y0方式接線。其一次側接地方式和系統接地方式相一致。（3）低壓供電，負荷電流為50A 及以下時，宜采用直接接入式電表；負荷電流為50A以上時，宜采用經電流互感器接入式的接線方式。（4）對三相三線制接線的電能計量裝置，其2臺電流互感器二次繞組與電表之間宜采用四線連接。對三相四線制連接的電能計量裝置，其3臺電流互感器二次繞組與電表之間宜采用六線連接。用于校準機床，例如 快速運行的主軸。3D激光干涉儀平面度測量

Beamline Fac。需要具有<100nrad RMS機械指向穩定性的鏡架。深圳3D激光干涉儀

用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luo gan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播，這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質中的光速的實驗，以驗明運動介質是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對jue dui靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。深圳3D激光干涉儀