高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預(yù)測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達(dá)到300mm。這就意味著測量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方，相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級。

高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上，上世紀(jì)80年代以前開發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領(lǐng)，其原因是后者的速度達(dá)到了1m/sec。 Beamline Fac。需要具有<100nrad RMS機(jī)械指向穩(wěn)定性的鏡架。天津非接觸激光干涉儀

5 指針不應(yīng)彎曲，與標(biāo)度盤表面間的距離要適當(dāng)。對裝有反射鏡式讀數(shù)裝置的儀表應(yīng)不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應(yīng)不大于(0.01L+1)MM。指針與標(biāo)度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標(biāo)度尺邊緣的間隙應(yīng)不超過(0.01L+0.8)MM。其中L 是標(biāo)度尺長度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應(yīng)蓋住標(biāo)度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6 檢查有無封印，外殼密封是否良好。

三相儀表應(yīng)在對稱電壓和平衡負(fù)載的條件下檢驗(yàn)。三相系統(tǒng)中每一個線電壓或相電壓以及電流與系統(tǒng)中相應(yīng)量的平均值之差均不應(yīng)大于1%。各個相電流與對應(yīng)相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 粗糙度激光干涉儀金線檢測皮 米 精 度 位 移 傳 感 器。

互感器分為電壓互感器和電流互感器兩大類。電壓互感器可在高壓和超高壓的電力系統(tǒng)中用于電壓和功率的測量等。電流互感器可用在交換電流的測量、交換電度的測量和電力拖動線路中的保護(hù)。

電壓互感器

按用途分

測量用電壓互感器或電壓互感器的測量繞組：在正常電壓范圍內(nèi)，向測量、計量裝置提供電網(wǎng)電壓信息；保護(hù)用電壓互感器或電壓互感器的保護(hù)繞組：在電網(wǎng)故障狀態(tài)下，向繼電保護(hù)等裝置提供電網(wǎng)故障電壓信息。

按絕緣介質(zhì)分

干式電壓互感器：由普通絕緣材料浸漬絕緣漆作為絕緣，多用在及以下低電壓等級；澆注絕緣電壓互感器：由環(huán)氧樹脂或其他樹脂混合材料澆注成型，多用在及以下電壓等級；油浸式電壓互感器：由絕緣紙和絕緣油作為絕緣，是我國較為常見的結(jié)構(gòu)型式，常用于及以下電壓等級；氣體絕緣電壓互感器：由氣體作主絕緣，多用在較高電壓等級。通常只提供測量用的低電壓互感器是干式，高壓或超高壓密封式氣體絕緣(如六氟化硫)互感器也是干式。澆注式適用于35kV及以下的電壓互感器，35kV以上的產(chǎn)品均為油浸式。

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luo gan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guang fan。長度測量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進(jìn)行長度的精確比較或jue dui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luo gan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進(jìn)行相對測量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時觀察。定位器的觸發(fā)運(yùn)動控制。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。英文名稱：laser interferometer以太網(wǎng)Web界面（工業(yè)4.0）。模切尺寸激光干涉儀金線檢測

軸的直徑為10毫米，以每分鐘2160轉(zhuǎn)（RPM）旋轉(zhuǎn)。天津非接觸激光干涉儀

激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床:雙軸定位精度的檢測及其自動補(bǔ)償雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運(yùn)動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。數(shù)控機(jī)床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。天津非接觸激光干涉儀