高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達到300mm。這就意味著測量定位系統的精度要優于3×10的-8次方，相應的激光穩頻精度應該是10的-9次方數量級。

高速度。目前加工機械的速度已經提高到1m/sec以上，上世紀80年代以前開發研制的儀器已不適應市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領，其原因是后者的速度達到了1m/sec。 檢測軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。廣東激光干涉儀金線檢測

5 指針不應彎曲，與標度盤表面間的距離要適當。對裝有反射鏡式讀數裝置的儀表應不大于(0.02L+1)MM；其余儀表應不大于(0.01L+1)MM。指針與標度尺在同一水平面上的儀表，其指針前列與標度尺邊緣的間隙應不超過(0.01L+0.8)MM。其中L 是標度尺長度，MM。刀形和絲形指針的前列至少應蓋住標度尺上較短分度線的1/2，矛形指針可為1/2～3/4；

6 檢查有無封印，外殼密封是否良好。

三相儀表應在對稱電壓和平衡負載的條件下檢驗。三相系統中每一個線電壓或相電壓以及電流與系統中相應量的平均值之差均不應大于1%。各個相電流與對應相電壓的相位差之間的差值不大于2°。 平臺校準激光干涉儀表面粗糙度工業位移傳感器（IDS）。

用連續空間函數來運算的光的波動理論，在描述純悴的光學現象時，已被證明是十分潛能的，似乎很難用任何別的理論來替換?？墒?，不應當忘記，光學觀測都同時間平均值有關，而不是同瞬時值有關，而且盡管衍射、反射、折射、色散等等理論完全為實驗所證實，但仍可以設想，當人們把用連續空間函數進行運算的光的理論應用到光的產生和轉化的現象上去時，這個理論會導致和經驗相矛盾。關于黑體輻射，光致發光、紫外光產生陰極射線，以及其他一些有關光的產生和轉化的現象的觀察，如果用光的能量在空間中不是連續分布的這種假說來解釋．似乎就更好理解。按照這里所設想的假設，從點光源發射出來的光束的能量在傳播中不是連續分布在越來越大的空間之中，而是由個數有限的、局限在空間各點的能量子所組成，這些能量子能夠運動，但不能再分割，而只能整個地被吸收或產生出來。

結構原理：普通電流互感器結構原理：電流互感器的結構較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構架、殼體、接線端子等組成。其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數（N1）較少，直接串聯于電源線路中，一次負荷電流(I1)通過一次繞組時，產生的交變磁通感應產生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷（Z）串聯形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實際運行中負荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態，相當于一個短路運行的變壓器。提供： 反射器表面誤差，s（Φ）。 XY-跳動運動誤差，εX（Φ）和εy（Φ）。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱：laser interferometer坐標測量機軸位置捕獲。黃浦區激光干涉儀厚度測量

膨脹計：熱膨脹和磁致伸縮測量。廣東激光干涉儀金線檢測

波長的測量任何一個以波長為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來測量波長的方法。以國際米為標準，利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-珀luo gan 涉儀（標準具）曾被用來確定波長的初級標準（鎘紅譜線波長）和幾個次級波長標準，從而通過比較法確定其他光譜線的波長。檢驗光學元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評估透鏡的波像差。廣東激光干涉儀金線檢測

上海岱珂機電設備有限公司是我國光譜共焦傳感器，高精度3D測量系統，涂層厚度檢測傳感器，同軸激光位移傳感器專業化較早的有限責任公司（自然）之一，岱珂機電是我國儀器儀表技術的研究和標準制定的重要參與者和貢獻者。公司承擔并建設完成儀器儀表多項重點項目，取得了明顯的社會和經濟效益。將憑借高精尖的系列產品與解決方案，加速推進全國儀器儀表產品競爭力的發展。