體型半導(dǎo)體應(yīng)變片這種半導(dǎo)體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導(dǎo)體應(yīng)變片可分為6種。①普通型：它適合于一般應(yīng)力測(cè)量；②溫度自動(dòng)補(bǔ)償型：它能使溫度引起的導(dǎo)致應(yīng)變電阻變化的各種因素自動(dòng)抵消，只適用于特定的試件材料；③靈敏度補(bǔ)償型：通過選擇適當(dāng)?shù)囊r底材料（例如不銹鋼），并采用穩(wěn)流電路，使溫度引起的靈敏度變化極小；④高輸出（高電阻）型：它的阻值很高（2～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。⑤超線性型：它在比較寬的應(yīng)力范圍內(nèi)，呈現(xiàn)較寬的應(yīng)變線性區(qū)域，適用于大應(yīng)變范圍的場(chǎng)合；⑥P-N組合溫度補(bǔ)償型：它選用配對(duì)的P型和N型兩種轉(zhuǎn)換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。 定位器的觸發(fā)運(yùn)動(dòng)控制。山東平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀
利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何干涉儀路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)（～10-7米）。所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無法比擬的。 浦東新區(qū)非接觸激光干涉儀用于校準(zhǔn)機(jī)床，例如 快速運(yùn)行的主軸。
被光束照射到的電子會(huì)吸收光子的能量，但是其中機(jī)制遵照的是一種非全有即全無的判據(jù)，光子所有能量都必須被吸收，用來克服逸出功，否則這能量會(huì)被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會(huì)成為電子在被發(fā)射后的動(dòng)能。逸出功 W 是從金屬表面發(fā)射出一個(gè)光電子所需要的較小能量。如果轉(zhuǎn)換到頻率的角度來看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關(guān)系為其中，h是普朗克常數(shù),W是光頻率為的光子的能量。克服逸出功之后，光電子的比較大動(dòng)能為其中，hv 是光頻率為 v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實(shí)際物理要求動(dòng)能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應(yīng)才能發(fā)生。
按一次繞組對(duì)地運(yùn)行狀態(tài)分一次繞組接地的電壓互感器：?jiǎn)蜗嚯妷夯ジ衅饕淮卫@組的末端或三相電壓互感器一次繞組的中性點(diǎn)直接接地；一次繞組不接地的電壓互感器：?jiǎn)蜗嚯妷夯ジ衅饕淮卫@組兩端子對(duì)地都是絕緣的；三相電壓互感器一次繞組的各部分，包括接線端子對(duì)地都是絕緣的，而且絕緣水平與額定絕緣水平一致。按磁路結(jié)構(gòu)分單級(jí)式電壓互感器：一次繞組和二次繞組（根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組同繞在一個(gè)鐵芯上，鐵芯為地電位。我國(guó)在及以下電壓等級(jí)均用單級(jí)式；串級(jí)式電壓互感器：一次繞組分成幾個(gè)匝數(shù)相同的單元串接在相與地之間，每一單元有各自獨(dú)自的鐵芯，具有多個(gè)鐵芯，且鐵芯帶有高電壓，二次繞組（根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組處在較為末一個(gè)與地連接的單元。我國(guó)在電壓等級(jí)常用此種結(jié)構(gòu)型式；組合式互感器：由電壓互感器和電流互感器組合并形成一體的互感器稱為組合式互感器，也有把與組合電器配套生產(chǎn)的互感器稱為組合式互感器。 色散共焦傳感器。。。
干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luogan涉儀等。干涉儀的應(yīng)用極為guangfan。長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或juedui測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luogan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變，介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變，從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過條紋移動(dòng)來對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。 雖然加速度計(jì)可用于測(cè)量頻率> ~20 Hz @ 10 kHz的鏡像虛擬儀。平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
檢測(cè)軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。山東平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀
(3)非接觸測(cè)頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對(duì)此已經(jīng)提出迫切要求，這是今后坐標(biāo)測(cè)量機(jī)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。目前接觸式測(cè)頭已完全被國(guó)外所壟斷，非接觸測(cè)頭還沒有發(fā)展成熟，我們有參與競(jìng)爭(zhēng)的機(jī)遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進(jìn)展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應(yīng)該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過去，科研評(píng)價(jià)體系存在偏重于整機(jī)和系統(tǒng)，忽視材料和器件的趨向。新的突破點(diǎn)可能出現(xiàn)在新光源、新型高頻探測(cè)器。目前探測(cè)器的響應(yīng)頻率只有10的9次方，而光頻高達(dá)10的14次方，目前干涉儀實(shí)際上是起著混頻器的作用，適應(yīng)探測(cè)器的不足(如果探測(cè)器的響應(yīng)果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測(cè)器的性能得到顯著提高，對(duì)于通訊也是很大的突破。山東平臺(tái)校準(zhǔn)激光干涉儀
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