(3)非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業對此已經提出迫切要求，這是今后坐標測量機發展的關鍵技術。目前接觸式測頭已完全被國外所壟斷，非接觸測頭還沒有發展成熟，我們有參與競爭的機遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進展，但可在原理創新上下功夫。應該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統，忽視材料和器件的趨向。新的突破點可能出現在新光源、新型高頻探測器。目前探測器的響應頻率只有10的9次方，而光頻高達10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用，適應探測器的不足(如果探測器的響應果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破。更多的測量軸有助于更多的旋轉參數：偏心率，表面質量， 傾斜誤差和徑向運動。上海激光干涉儀金線檢測

擴散型半導體應變片這種應變片是將P型雜質擴散到一個高電阻N型硅基底上，形成一層極薄的P型導電層，然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成（圖2）。它的優點是穩定性好，機械滯后和蠕變小，電阻溫度系數也比一般體型半導體應變片小一個數量級。缺點是由于存在P-N結，當溫度升高時，絕緣電阻大為下降。半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件。新型固態壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴散法制成的。非接觸激光干涉儀共焦晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量!

引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測器已經發展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測實驗， 脈沖星測時陣列則可認為是多路光線干涉儀（Hellings和Downs,1983）。

穿心式電流互感器其本身結構不設一次繞組，載流（負荷電流）導線由L1至L2穿過由硅鋼片搟卷制成的圓形（或其他形狀）鐵心起一次繞組作用。二次繞組直接均勻地纏繞在圓形鐵心上，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷串聯形成閉合回路，由于穿心式電流互感器不設一次繞組，其變比根據一次繞組穿過互感器鐵心中的匝數確定，穿心匝數越多，變比越小；反之，穿心匝數越少，變比越大，額定電流比I1/n：式中I1——穿心一匝時一次額定電流；n——穿心匝數。 在環境條件下懸臂的共振頻率，不施加壓電致動器的任何振蕩。

1、一次線圈串聯在電路中，并且匝數很少，因此，一次線圈中的電流完全取決于被測電路的負荷電流．而與二次電流無關；2、電流互感器二次線圈所接儀表和繼電器的電流線圈阻抗都很小，所以正常情況下，電流互感器在近于短路狀態下運行。電流互感器一、二次額定電流之比，稱為電流互感器的額定互感比：kn=I1n/I2n因為一次線圈額定電流I1n己標準化，二次線圈額定電流I2n統一為5（1或0.5）安，所以電流互感器額定互感比亦已標準化。kn還可以近似地表示為互感器一、二次線圈的匝數比，即kn≈kN=N1/N2式中N1.N2為一、二線圈的匝數。 IDS與各種目標和目標材料兼容。佛山激光干涉儀深度測量

但IDS3010干涉儀可診斷非接觸式pm位移@ 10 MHz 安裝的高功率激光反射鏡。上海激光干涉儀金線檢測

體型半導體應變片這種半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應變片可分為6種。①普通型：它適合于一般應力測量；②溫度自動補償型：它能使溫度引起的導致應變電阻變化的各種因素自動抵消，只適用于特定的試件材料；③靈敏度補償型：通過選擇適當的襯底材料（例如不銹鋼），并采用穩流電路，使溫度引起的靈敏度變化極小；④高輸出（高電阻）型：它的阻值很高（2～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經放大而直接接入指示儀表。⑤超線性型：它在比較寬的應力范圍內，呈現較寬的應變線性區域，適用于大應變范圍的場合；⑥P-N組合溫度補償型：它選用配對的P型和N型兩種轉換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。        上海激光干涉儀金線檢測