用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luogan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結(jié)構(gòu)和超精細結(jié)構(gòu)分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關(guān)于運動介質(zhì)中的光速的實驗，以驗明運動介質(zhì)是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對juedui靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。      基于壓電的定位器（頂部）只在x軸上移動（5 nm步長）。廣東激光干涉儀共焦

體型半導體應變片這種半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應變片可分為6種。

①普通型：它適合于一般應力測量；

②溫度自動補償型：它能使溫度引起的導致應變電阻變化的各種因素自動抵消，只適用于特定的試件材料；

③靈敏度補償型：通過選擇適當?shù)囊r底材料（例如不銹鋼），并采用穩(wěn)流電路，使溫度引起的靈敏度變化極小；

④高輸出（高電阻）型：它的阻值很高（2～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經(jīng)放大而直接接入指示儀表。

⑤超線性型：它在比較寬的應力范圍內(nèi)，呈現(xiàn)較寬的應變線性區(qū)域，適用于大應變范圍的場合；

⑥P-N組合溫度補償型：它選用配對的P型和N型兩種轉(zhuǎn)換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。   白云區(qū)激光干涉儀共焦技術(shù)非接觸式檢測軸承誤差。

被光束照射到的電子會吸收光子的能量，但是其中機制遵照的是一種非全有即全無的判據(jù)，光子所有能量都必須被吸收，用來克服逸出功，否則這能量會被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會成為電子在被發(fā)射后的動能。逸出功 W 是從金屬表面發(fā)射出一個光電子所需要的較小能量。如果轉(zhuǎn)換到頻率的角度來看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關(guān)系為其中，h是普朗克常數(shù)，W是光頻率為的光子的能量。克服逸出功之后，光電子的比較大動能為其中，hv 是光頻率為 v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實際物理要求動能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應才能發(fā)生。

在光電效應中，要釋放光電子顯然需要有足夠的能量。根據(jù)經(jīng)典電磁理論，光是電磁波，電磁波的能量決定于它的強度，即只與電磁波的振幅有關(guān)，而與電磁波的頻率無關(guān)。而實驗規(guī)律中的較早、第二兩點顯然用經(jīng)典理論無法解釋。第三條也不能解釋，因為根據(jù)經(jīng)典理論，對很弱的光要想使電子獲得足夠的能量逸出，必須有一個能量積累的過程而不可能瞬時產(chǎn)生光電子。光電效應里，電子的射出方向不是完全定向的，只是大部分都垂直于金屬表面射出，與光照方向無關(guān)，光是電磁波，但是光是高頻震蕩的正交電磁場，振幅很小，不會對電子射出方向產(chǎn)生影響。所有這些實際上已經(jīng)曝露出了經(jīng)典理論的缺陷，要想解釋光電效應必須突破經(jīng)典理論晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。

被光束照射到的電子會吸收光子的能量，但是其中機制遵照的是一種非全有即全無的判據(jù)，光子所有能量都必須被吸收，用來克服逸出功，否則這能量會被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會成為電子在被發(fā)射后的動能。逸出功W是從金屬表面發(fā)射出一個光電子所需要的較小能量。如果轉(zhuǎn)換到頻率的角度來看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關(guān)系為其中，h是普朗克常數(shù)，W是光頻率為的光子的能量。克服逸出功之后，光電子的比較大動能為其中，hv是光頻率為v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實際物理要求動能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應才能發(fā)生。檢測軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。非接觸激光干涉儀深度測量

2000轉(zhuǎn)/分時的總振動高于150納米，可能導致電機 故障。廣東激光干涉儀共焦

頻率影響

1.當頻率自額定值偏離±10%(但對相位表和功率因數(shù)表為±2%，對單相無功功率表為±5%)時，由此所引起的儀表指示值的改變應不超過表7中的規(guī)定值。如果在儀表上注明額定頻率范圍，則在此范圍內(nèi)的任一頻率下，儀表的基本誤差都應不超過規(guī)定值。如果在儀表上除注明額定頻率外，還注明有擴大的頻率范圍時，則在此范圍內(nèi)的任一頻率下，儀表的基本誤差應不超過表7中規(guī)定值的兩倍。儀表輔助電路的電源，當其頻率自額定值偏離±2%時，由此引起的儀表指示值的改變，應不超過表7規(guī)定值的一半。

2.檢驗頻率的影響時，應遵守有關(guān)規(guī)定(對頻率的規(guī)定除外)，且應除去變差影響。試驗是在標度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點分度線上進行。相位表在額定電流下進行，功率表在額定功率因數(shù)下進行。 廣東激光干涉儀共焦