用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luogan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播，這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質中的光速的實驗，以驗明運動介質是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對juedui靜止的以太的運動。對以太的研究為A.愛因斯坦的狹義相對論提供了佐證。      基于壓電的定位器（頂部）只在x軸上移動（5 nm步長）。廣東激光干涉儀共焦

體型半導體應變片這種半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應變片可分為6種。

①普通型：它適合于一般應力測量；

②溫度自動補償型：它能使溫度引起的導致應變電阻變化的各種因素自動抵消，只適用于特定的試件材料；

③靈敏度補償型：通過選擇適當的襯底材料（例如不銹鋼），并采用穩流電路，使溫度引起的靈敏度變化極小；

④高輸出（高電阻）型：它的阻值很高（2～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經放大而直接接入指示儀表。

⑤超線性型：它在比較寬的應力范圍內，呈現較寬的應變線性區域，適用于大應變范圍的場合；

⑥P-N組合溫度補償型：它選用配對的P型和N型兩種轉換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。   白云區激光干涉儀共焦技術非接觸式檢測軸承誤差。

被光束照射到的電子會吸收光子的能量，但是其中機制遵照的是一種非全有即全無的判據，光子所有能量都必須被吸收，用來克服逸出功，否則這能量會被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會成為電子在被發射后的動能。逸出功 W 是從金屬表面發射出一個光電子所需要的較小能量。如果轉換到頻率的角度來看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關系為其中，h是普朗克常數，W是光頻率為的光子的能量。克服逸出功之后，光電子的比較大動能為其中，hv 是光頻率為 v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實際物理要求動能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應才能發生。

在光電效應中，要釋放光電子顯然需要有足夠的能量。根據經典電磁理論，光是電磁波，電磁波的能量決定于它的強度，即只與電磁波的振幅有關，而與電磁波的頻率無關。而實驗規律中的較早、第二兩點顯然用經典理論無法解釋。第三條也不能解釋，因為根據經典理論，對很弱的光要想使電子獲得足夠的能量逸出，必須有一個能量積累的過程而不可能瞬時產生光電子。光電效應里，電子的射出方向不是完全定向的，只是大部分都垂直于金屬表面射出，與光照方向無關，光是電磁波，但是光是高頻震蕩的正交電磁場，振幅很小，不會對電子射出方向產生影響。所有這些實際上已經曝露出了經典理論的缺陷，要想解釋光電效應必須突破經典理論晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。

被光束照射到的電子會吸收光子的能量，但是其中機制遵照的是一種非全有即全無的判據，光子所有能量都必須被吸收，用來克服逸出功，否則這能量會被釋出。假若電子所吸收的能量能夠克服逸出功，并且還有剩余能量，則這剩余能量會成為電子在被發射后的動能。逸出功W是從金屬表面發射出一個光電子所需要的較小能量。如果轉換到頻率的角度來看，光子的頻率必須大于金屬特征的極限頻率，才能給予電子足夠的能量克服逸出功。逸出功與極限頻率之間的關系為其中，h是普朗克常數，W是光頻率為的光子的能量。克服逸出功之后，光電子的比較大動能為其中，hv是光頻率為v的光子所帶有并且被電子吸收的能量。實際物理要求動能必須是正值，因此，光頻率必須大于或等于極限頻率，光電效應才能發生。檢測軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。非接觸激光干涉儀深度測量

2000轉/分時的總振動高于150納米，可能導致電機 故障。廣東激光干涉儀共焦

頻率影響

1.當頻率自額定值偏離±10%(但對相位表和功率因數表為±2%，對單相無功功率表為±5%)時，由此所引起的儀表指示值的改變應不超過表7中的規定值。如果在儀表上注明額定頻率范圍，則在此范圍內的任一頻率下，儀表的基本誤差都應不超過規定值。如果在儀表上除注明額定頻率外，還注明有擴大的頻率范圍時，則在此范圍內的任一頻率下，儀表的基本誤差應不超過表7中規定值的兩倍。儀表輔助電路的電源，當其頻率自額定值偏離±2%時，由此引起的儀表指示值的改變，應不超過表7規定值的一半。

2.檢驗頻率的影響時，應遵守有關規定(對頻率的規定除外)，且應除去變差影響。試驗是在標度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點分度線上進行。相位表在額定電流下進行，功率表在額定功率因數下進行。 廣東激光干涉儀共焦