氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。杭州推車式氦質譜檢漏儀費用

氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質譜室中將采集的被測氣體電離，再利用電磁場將不同荷質比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構成:真空系統、質譜室和電子學控制單元。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。質譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。質譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分，分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質譜室。在質譜室中氦氣被電離，氦離子通過質量分析器的篩選到達收集極，產生一個正比于離子數量的電流信號，該信號經過放大和處理即為泄漏率。溫州推車式氦質譜檢漏儀價錢噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。

氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法），可以發現有不同的叫法，這是根據不同的檢測方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統的性質來決定。根據不同的檢漏目的，常用基礎的有3種檢漏方法。負壓法（噴氦法）。對被檢工件抽真空。可對被檢工件外可疑漏點噴氦，也可將工件罩起來對氦罩內噴氦。可根據工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵。可檢測工件的具體漏點和準確漏率。檢測精度高。適用行業：鍍膜行業，真空爐，真空配件，真空閥門，壓力容器，真空系統等。

氦質譜檢漏儀的注意事項：1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上，由近而遠的順序進行。4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進人質譜檢漏儀，應立即移去吸口，防止因儀器長時間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質譜檢漏儀應用領域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業、電力、電子元器件、汽車及制冷、低溫容器、閥門、儀器儀表、聚酯等行業。氦質譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響。

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統：冷阱。分子泵型真空系統一般不加冷阱。擴散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室，保持質譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質譜室和被檢件之間的管道上。真空規。一般采用冷陰極磁控放電真室規來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規或熱偶規測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。標準漏孔。一般儀器內都附有標準漏孔，用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。氦檢儀的型號較多，但基本結構大同小異。嘉興推車式氦質譜檢漏儀報價

氦檢儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。杭州推車式氦質譜檢漏儀費用

氮質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統、零部件及元器件的檢漏。氦質譜檢漏儀改變了常規型儀器的結構布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛生較差的真空系統的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。杭州推車式氦質譜檢漏儀費用