在使用氦檢儀時要如何保養？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動并檢查一次，以保持儀器的高真空系統處于真空狀態，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應避免在安裝現場發生泄漏，儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處（如放氣閥等）進行自檢。）可能出現在儀器上，并在發現泄漏點后及時移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴禁在氦檢儀上，尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲存和使用環境應保持清潔衛生。只有經過培訓或合格的設備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時，請注意儀器的操作。一旦出現大振動、高噪音等狀況時，儀器在操作過程中不能移動。渦輪分子泵正在高速運轉。如果泄漏檢測器移動，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會對氦檢儀造成不良影響。氦檢儀的型號較多，但基本結構大同小異。紹興智能氦質譜檢漏儀哪家好

氦檢儀應用領域：工業：真空爐、鍍膜系統、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源。科研領域：空間模擬系統、試驗裝置、微電子、表面分析系統。半導體及電子：工藝設備、氣路、氣路傳輸設備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發器、空調、管路。核工業：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。氦質譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。上海無損氦質譜檢漏儀定制氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養。

氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？當發現檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。

在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時，必須考慮其特性和真空測量的特性：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，恰當選擇安裝位置。表面和密封材料呈現脫氣現象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應該盡可能的短，且密封件數量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應，因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應，這在中真空范圍內與重型氣體（如氬）一起抽空時尤為明顯。這可導致不一致和不準確的讀數。當烴類存在時，電離真空計受到有機分子分解產物的污染。如同濺射效應一樣，讀數可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關點，以避免因上述現象導致的污染。強磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于電離真空計而言。為能夠產生超高真空，必須對真空設備，包括真空計進行烘烤。必須遵守技術要求中規定的蕞大烘烤溫度和條件。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求，如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，就不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，因此應選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應選擇無油真空系統的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問題。氦質譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率。嘉興真空氦質譜檢漏儀技術指導

氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做？紹興智能氦質譜檢漏儀哪家好

氦檢儀進展的集中體現在如下幾個方面：（1）便攜式：較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極氦檢儀，質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。紹興智能氦質譜檢漏儀哪家好