潔凈室中的氣流速度規定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求;(1)送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干。對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去...
1、送風潔凈度要保證送風潔凈度,安裝的氣密性要好,液槽密封必須保證液槽接縫嚴密和整體框架都處于同一水平面上,負壓密封就是使過濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處于負壓狀態。2、氣流組織潔凈車間的氣流組織與一般空調房間有所不同,它要求將**干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對生產產品的污染。為此,在設計氣流組織時應考慮這些原則:盡量減少渦流,避免將工作區以外的污染帶入工作區;盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會;工作區的氣流要盡量均勻,且其風速要滿足工藝和衛生要求,當氣流向回風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風方式。...
亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流(從送風口到回風口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以,送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內不可能以單一方向流動,將會彼此撞擊,將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔凈室的流態實質是:突變流;非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更***。紊流主要決定于雷諾數,也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式,則即使流速極低,也要產生上述各種結果,這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不*有流層之間因紊流流動...
1、簡易凈化室是指在凈化車間上放防靜電網格簾或有機板圍一個小室內空間設計,上面采用HEPA及FFU排風系統控制模塊組成一相對凈化車間較高清理等級的室內空間設計,簡易凈化室可配不銹鋼板不銹鋼風淋室、不銹鋼板不銹鋼傳遞窗等環保機械。潔凈室工程重要之作用在于控制產品(如硅集成ic等)所碰觸之氣體的潔凈室等級日及溫度環境濕度,使產品能在一個質量之地理環境室內空間設計中生產制造、生產加工,此室內空間設計大家稱之為清潔室。提及原料:凈化車間構架一般可分為不銹鋼板材鋁方通吊頂、噴涂鐵鋁方通吊頂以及鋁合金型材,頂部及可用不銹鋼板、噴涂冷塑鋼扣板、防靜電網格簾及亞克力板有機板等原料。全部的一般的挑選...
潔凈室**主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。每立方米將小于,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A...
潔凈室要獲得良好的潔凈效果,不僅要著重采取合理的空調凈化措施,而且也要求工藝、建筑及其他專業采取相應的措施。不但要有合理的設計,而且還要精心的符合規范的施工安裝,以及正確的使用潔凈室和科學的維護管理。實際上,不同專業之間很難做到理想地配合,而且設計者很難把握施工安裝質量以及使用和管理情況,尤其后者。就潔凈室凈化措施而言,許多設計者,或者還有施工方,往往對其必要條件未予足夠重視,造成潔凈效果不理想。本文*就潔凈室凈化措施中達到潔凈度要求的四個必要條件簡要論述。一、送風潔凈度:要保證送風潔凈度符合要求,關鍵是凈化系統末級過濾器的性能和安裝。凈化系統末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過...
應將機組內壁的灰塵清擦干凈,較后用消毒液清擦,消毒。J.每二到三個月清洗或更換中效過濾器。K.高效過濾器一般使用半年后報廢更換新的。L、每季度給風機軸承加油一次,調整風機皮帶張緊度,緊固螺絲,防止松動。N、每半年將機組內表冷器用清水沖洗,排水口處用抹布擦干凈,并消毒。M、冷凝水排水口不得有污物,死水。O、配電箱、控制箱是機房的心臟,每半年清掃灰塵一次,對燒蝕的開關、接觸器及時更換,并防止鼠蟲咬壞線纜。P、風冷水循環機組在夏季來臨前,一定關閉熱水給回水的閥門,開啟室外空調機組的給回水閥門,檢查試運行循環水泵和備用水泵,嚴禁在室外機組工作狀態下,循環水泵處于停機狀態,避免壓縮機和交換器...
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了,所以必須有±,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上...
潔凈室設計對生產工藝的要求編輯(1)潔凈環境是為生產工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區的面積。[3](2)在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側,把產生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區外,若必須放在潔凈區內時...
潔凈室設計對生產工藝的要求編輯(1)潔凈環境是為生產工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區的面積。[3](2)在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側,把產生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區外,若必須放在潔凈區內時...
大家都知道潔凈車間可以排除一定范圍內的空氣中的有害空氣、微粒子、細菌等污染物。潔凈車間需要在無論外界的空氣條件怎么變化,其室內都必須維持原先設計的潔凈度和溫濕度、壓力等。但是對于潔凈車間構成的材料相信很多人可能都不是很了解。那么潔凈車間工程的組成材料有哪些呢。潔凈車間施工的時候,需要用到以下設備:電器部分:1、空調電路2、凈化設備電路3、照明電路D.地面部分:1、環氧樹脂地坪2、PVC地板3、高架地板地面空調通風部分:1.空調通風部分主要材料有空調主機,送回風管,鍍鋅水管(或者PVC水管)水塔閘閥水泵Y型過濾器橡膠軟管止回閥水流開關溫度計壓力表水過濾器各種管碼2:通風部分的主要材料...
2)水平單向流:只在***工作區達到100級潔凈度,當空氣流向另一側的過程中含塵濃度逐漸升高,所以*適用于同一房間工藝過程有不同潔凈度要求的潔凈室;送風墻局部布高效過濾器較滿布水平送可減少高效過濾器用量,節約初投資,但局部區域有渦流。3)亂流型氣流:孔板頂送和密集散流器頂送的特點與前述相同:側送的優點易于管道布置,無需技術夾層,造價低,有利于舊廠房改造,缺點是工作區風速較大,下風側比上風側含塵濃度高;高效過濾器風口頂送具有系統簡單、高效過濾器后無管道、潔凈氣流直接送達工作區等優點,但潔凈氣流擴散緩慢,工作區氣流較均勻;不過當均勻地布置多個風口或采用帶擴散板地高效過濾器風口時,也可使...
應將機組內壁的灰塵清擦干凈,較后用消毒液清擦,消毒。J.每二到三個月清洗或更換中效過濾器。K.高效過濾器一般使用半年后報廢更換新的。L、每季度給風機軸承加油一次,調整風機皮帶張緊度,緊固螺絲,防止松動。N、每半年將機組內表冷器用清水沖洗,排水口處用抹布擦干凈,并消毒。M、冷凝水排水口不得有污物,死水。O、配電箱、控制箱是機房的心臟,每半年清掃灰塵一次,對燒蝕的開關、接觸器及時更換,并防止鼠蟲咬壞線纜。P、風冷水循環機組在夏季來臨前,一定關閉熱水給回水的閥門,開啟室外空調機組的給回水閥門,檢查試運行循環水泵和備用水泵,嚴禁在室外機組工作狀態下,循環水泵處于停機狀態,避免壓縮機和交換器...
緩沖室可用于物料的凈化,同時保持設備室的潔凈度和正壓。藥品生產的物流凈化系統采用帶有互鎖設施的緩沖室或傳遞窗,不得作人流通道。不足之處:沒有緩沖室。其他不足之處此圖為二更區域處張貼的KT板,容易聚集塵埃,不便清潔,且污染潔凈區,且不應對墻體刻字涂寫。潔凈室工程施工安裝、調試、驗收要點一、基本要求1、承擔潔凈廠房工程的施工企業,應具有相應工程施工資質及其等級,并應具有完善的質量管理體系。2、潔凈廠房的施工應按設計文件、合約的內容實施。當修改設計時,應經原設計單位的確認、簽證,并得到建設單位的同意。3、潔凈廠房施工前應根據具體工程項目的特點,制訂施工方案和程序,做到各工種協調施工、階段...
食品工廠應符合食品衛生生產要求,不允許污染、交叉污染及混料等情形!生產環境應整潔、干凈,路面平整、潔凈,確保食品運輸過程中的衛生安全!我們在平面布局首先考慮所有的設備位置一定得滿足食品生產工藝的需求,一定明確區分潔凈生產加工區。潔凈車間我們在水、電、氣及防火環保方面考慮周全。以便安裝空調凈化設備、風管、風口等。食品工業潔凈房給水排水系統,從設計、施工到生產運行應有可靠性驗收。潔凈車間的給水、排水應符合國家標準,生產過程中有腐蝕性介質排出的設備所在的地面應設立防止介質蔓延的設施。地面和墻面采用非吸收性、不透水、易清洗消毒。潔凈生產車間地面應有1%--2%的排水坡度。車間下水道的出口處...
單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),并以一般是(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。圖1是典型的垂直流潔凈室的剖面圖。從圖中可以看出,由滿布潔凈室吊頂的高效過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞,向***經室內,帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環至高效過濾器。人...
按氣流的流動狀態分根據氣流的流動狀態分,主要有以下三種氣流分布的潔凈室[1]:(1)非單向流潔凈室:以前常稱為亂流型潔凈室,室內的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點:終端過濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室,它可以就是送風口或直接連送風口,也可以接到房間的送風靜壓箱上;回風口均設在潔凈室的下部,目的是避免出現“揚灰”現象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。(2)單向流潔凈室:單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風速一致,有垂直單向潔凈室,準垂直單向流,水平單向流潔凈室等。(3)矢量...
二、氣流組織:潔凈室的氣流組織與一般空調房間有所不同,它要求將**干凈的空氣首先送到操作部位,它的作用在于限制和減少對加工物的污染。為此,在設計氣流組織時應考慮這些原則:盡量減少渦流,避免將工作區以外的污染帶入工作區;盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會;工作區的氣流要盡量均勻,且其風速要滿足工藝和衛生要求,當氣流向回風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據不同的潔凈度要求,選擇不同的送、回風方式。不同的氣流組織,各有其特點和范圍:1)垂直單向流:均可獲得均勻向下氣流,便于工藝設備布置,自凈能力強,可簡化人身凈化設施等共同設施等共同優點外,四種送風方式還有其各自優缺...
全球半導體行業穩定向好,中國市場如火如荼也帶動了整個潔凈室產業的發展。綜合來看,三因素決定我國半導體行業的高速發展:1)國內半導體銷售占比和增速遠高于全球平均水平,半導體市場消費基數維持高位。2)我國半導體設備支出占比小增速快,設備市場增長空間大。3)半導體貿易逆差持續維持1,600億美元高位,“進口替代”大勢所趨。國家意志導向,政策+資金雙管齊下促國內半導體行業發展。集成電路是當今信息技術產業高速發展的基礎和源動力,其技術水平和發展規模已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一。近年來一系列的政策出臺鼓勵國內半導體行業的發展,半導體“大基金”為國內半導體行業發展提供直接...
1、簡易凈化室是指在凈化車間上放防靜電網格簾或有機板圍一個小室內空間設計,上面采用HEPA及FFU排風系統控制模塊組成一相對凈化車間較高清理等級的室內空間設計,簡易凈化室可配不銹鋼板不銹鋼風淋室、不銹鋼板不銹鋼傳遞窗等環保機械。潔凈室工程重要之作用在于控制產品(如硅集成ic等)所碰觸之氣體的潔凈室等級日及溫度環境濕度,使產品能在一個質量之地理環境室內空間設計中生產制造、生產加工,此室內空間設計大家稱之為清潔室。提及原料:凈化車間構架一般可分為不銹鋼板材鋁方通吊頂、噴涂鐵鋁方通吊頂以及鋁合金型材,頂部及可用不銹鋼板、噴涂冷塑鋼扣板、防靜電網格簾及亞克力板有機板等原料。全部的一般的挑選...
潔凈車間管理中常見的問題1、故障現象:空調新風口過濾器沒有及時清理故障結果:由于新風口堵塞造成新風進風量不足,輸出風流量不夠,潔凈室正壓不足。解決辦法:每7天檢查一次新風口過濾網,發現臟污及時清洗或更換。2、故障現象:新風口過濾網缺少一塊沒有裝故障結果:由于失去新風口過濾器的保護,初效過濾器更換幾天后就很快的堵塞失效。解決辦法:自制或外加工一塊新風口過濾器,保障所有進入初效過濾器的新風全部經過過濾。3、故障現象:初效過濾器臟污堵塞故障結果:新風、回風混合進風量不足,空調風機輸出流量不夠造成潔凈室正壓不足。解決辦法:每月(30天)進行一次清洗,清洗三次后更換新的濾布4、故障現象:空調...
潔凈車間潔凈區凈化設備裝置的處理,潔凈車間潔凈區地面的選材應具防靜電特性,可控制因人員走動產生的靜電。半導體的設備或零件應存放在防靜電的容器中,這樣可以有效防止靜電的產生。凈化工程中可使用防靜電設備,如離子頭、離子棒等。半導體器件應盛放在防靜電塑料容器與塑料袋之中,其一般均會具有良好導電性能,可有效防止凈化潔凈室之中靜電的產生。潔凈室的投入使用,為企業更好的生產提供了保障。潔凈工程凈化技術將污染物進行排除或控制處理,例如電子設備的生產,一定的污染源易造成零件無法批量生產、產品質量不合格等影響。潔凈室必備的凈化設備裝置,可以降低灰塵、微生物等污染物濃度,保持室內空氣的潔凈度,補足室內...
潔凈車間功能溫度測試:應將潔凈工作區劃分為等面積的柵格,每個分格面積不超過100平方米或與建設方協商確定,每格測點1個以上,每個房間測點至少2個。測試高度應為工作面高度,距的吊頂、墻面和地面不小于300mm,并應考慮熱源等的影響,測量時間應至少1H,并至少6min測量一次,讀數穩定后做好記錄。潔凈車間一般溫度測試的測點,每個溫度控制區或每個房間1個測點,測試點高度宜為工作面高度,測量時間應至少1H,并至少6min測量一次,讀數穩定后做好記錄。潔凈車間濕度的測試:濕度測試可采用通風干濕球濕度計、電容式濕度計、數字式濕度計、毛發式濕度儀器。相對濕度測試的測點、測試頻度和時間與溫度測試時...
潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進行控制的密閉性較好的空間。中文名潔凈室外文名CleanRoom亦稱無塵車間、無塵室主要功能控制空氣污染應用場合精密機械工業、半導體工業等行業目錄1簡介2分類?按氣流的流動狀態分?按受控粒子的性質劃分3實現潔凈度要求的通風措施4潔凈室氣流組織考慮原則5潔凈室的負荷特點和節能6潔凈室設計對生產工藝的要求潔凈室簡介編輯潔凈室的發展與現代工業、前列技術密切聯系在一起。由于精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)等對環境的要求,促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過,在無潔凈級別的要求的環境下生...
隨著我國國民經濟的發展、社會的進步和人民生活水平的提高,潔凈室已廣泛應用于電子、生物制藥、精密儀器制造等各行各業中,由于潔凈室在溫度、相對濕度及潔凈度方面的巨大優勢,它的重要性也越來越多地被人們所認識和接受。潔凈室如何預防火災事故的發生,我們認為關鍵是要把好建筑防火設計這道源頭關,以杜絕先天性火災隱患的產生。本文就如何搞好潔凈室的防火設計,談一點見解,以供大家指正。一、潔凈室的基本特點所謂潔凈室是指在生產工藝上對建筑物有特殊凈化要求的廠房。其基本特點為:1、多為鋼筋混凝土結構,廠房多分隔為若干小間;2、常處于密閉狀態,少窗少門;3、廠房內設備昂貴,怕高溫、忌水;4、廠內工作人員少,...
潔凈室中的氣流速度規定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設備時再說明。對于亂流潔凈室由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求;(1)送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干。對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去...
1,潔凈室的污染源有:a、人是潔凈室較大的污染源規范進入潔凈室內人員的著裝和潔凈室內人員的行為動作以控制人員的產塵。b、周圍環境的污染空氣的滲入加強維護結構的密封、堵漏,維持潔凈室的正壓。c、未經HEPA過濾的空氣的送入對送入潔凈室的空氣要全部經過三級過濾,終端是HEPA過濾,安裝過濾器要密封、檢漏、堵漏。維持潔凈室內的正壓。d、圍護結構的產塵和其他表面的產塵對圍護的表面、頂、墻、地以及其他表面要定期擦拭、消毒和清掃。e、工藝設備和工藝過程的產塵對工藝的產塵要進行局部處理,避免污染擴散到全室。加強局部圍擋和局部排風等。f、原材料、容器、水、氣、溶劑以及外包裝的產塵外包裝不應在潔凈室...
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準,目的在于保障操作正常進行,滿足必要的談話聯系及安全舒適的工作環境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是:1.煩惱的效應由于噪聲,使人感到不安寧而產生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。2.對工作效率的影響這主要看三方面的反應水平,這三個方面是:集中精神,動作準確性,工作速度;3.對綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意,稍困難,困難,不可能對以上三方面指標都用A聲級來評價。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標準即各頻...
單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),并以一般是(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。圖1是典型的垂直流潔凈室的剖面圖。從圖中可以看出,由滿布潔凈室吊頂的高效過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞,向***經室內,帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環至高效過濾器。人...
潔凈室的作用:通過室內送、回風(即風循環)將室內的空氣進行不同等級和效率的初中高級過濾,使得室內空氣中浮游的粒子和微粒子的數量降低至可以達到或滿足生產工藝或研究作業的要求。潔凈室的分類:按用途來說一般分為兩類,工業潔凈室和生物潔凈室。工業潔凈室——以無生命微粒的控制為對象,主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。主要適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)、宇航工業、高純度化學工業、原理能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產等)、lcd(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多個行業。生物潔凈室——主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作...