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13.3.1可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板，或0.3mm~0.5mm厚鋼板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連接處應安裝連續的導電襯墊。施工直接安在圍護結構地面上的底板時，底板與地面之間應鋪2mm~3mm厚的電絕緣和能隔水汽的墊層。安...

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。...

4.1.2潔凈廠房凈化空調系統的新風口與城市交通干道之間的距離（相鄰側邊沿）宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時，可根據具體條件適當減少，但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源和模擬振源的影...

生產工藝設備和工具(工具夾)等，以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度級別4、清掃，滅菌管理，對潔凈室內的各類設備，設施的清掃，滅菌以及方法，周期和檢查明確的規定，防止，梢除潔凈室內塵粒，微生物的生產，滯留，繁殖5、潔凈室環境控制的內容包括：空氣凈化，潔凈建筑，與...

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統...

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內微風速...

5.1工藝布局5.1.1工藝平面應與工藝要求的潔凈用房等級相適應，并應防止食品、食品接觸面和食品包裝受到污染。原料、半成品、成品、生食和熟食應在各自**的有完整分隔的生產區內加工制作。5.1.2工藝設備布置應符合生產流程要求，同類型設備宜集中布置。5.1.3工...

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區)，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱...

4.3.3潔凈室（區）內應少分隔，但下列情況應予分隔：1按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產區段或房間之間，或有防火分隔要求時，應設隔墻；2在電子產品生產過程中，經常不同時使用的兩個生產區段或房間之間；3生產過程中排放影響產品質量的有害氣體或化學污染物...

單向流潔凈室的流動狀態從雷諾數看是湍流，所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學中的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室一詞是不恰當的，國外的一些標準和文章也指出了這一點。例如，英國標準BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯...

②沉降菌的測試對單向流如5級凈化房間內及層流工作臺測試應在凈化空調系統正常運行不少于10分鐘后開始；對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應在凈化空調系統正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法：將已制備好的培養皿放置在預先確定的取樣點，打開培養皿蓋使培養基...

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室（區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；...

無塵室凈化關鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級日及溫度濕度，使商品能在一個優良之自然環境室內空間中生產制造、生產制造，此室內空間大家稱作潔凈凈化室。無塵室架構一般可分成三種：不銹鋼板鋁方通、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材，頂端及能用不...

1一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;2二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜...

（1）在靜態條件下潔凈室（區）監測的懸浮粒子數、浮游菌數或沉降菌數必須符合規定。測試方法應符合現行國家標準《醫藥工業潔凈室（區）懸浮粒子的測試方法》GB/T16292、《醫藥工業潔凈室（區）浮游菌的測試方法》GB/T16293和《醫藥工業潔凈室（區）沉降菌的測...

E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關閉時進行，有排風時，應在比較大排風量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區與非潔凈區、室外環境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優于5級的單向流潔凈室...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修...

13.2.5潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統、各種配管使用部分絕緣性材質時,應在其表面安裝金屬網,并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體...

空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優點：構造簡單、系統建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊...

12.3.1防火卷簾安裝應符合下列規定：1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當采用不燃或難燃材料封堵時，其耐火極限應不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護，其封堵材料亦應采用水幕保護。2鋼質卷簾的簾板應平直，裝配成卷簾后，不...

B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數量應足以測定潔凈室和潔凈區的送風量，測點數量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點。可使用軟簾阻擋...

12.4.2消防應急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應符合下列規定：1當照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應密封。3疏散走道上安裝的照明燈應...

（七）室內噪聲1、儀器設備和環境儀器，設備測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計。環境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣對有噪聲設計要求的各個場所分別測定。3、技術要求室內噪聲級應符合《潔凈廠房設計規范》GB50073-2001的規定。在空態情況下，非單相流潔凈室不應...

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室（區）內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室（區）...

（1）潔凈廠房是現代科學技術發展的產物。隨著科學技術的日新月異，新技術、新工藝、新產品不斷出現，產品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產...

5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規定著重于使潔凈廠房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協調，使投資長期發揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能...

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執行更衣前換鞋的制度，其...

1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈...

6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室（區）門窗、墻壁、頂...

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；...