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無塵室凈化關鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級日及溫度濕度，使商品能在一個優(yōu)良之自然環(huán)境室內(nèi)空間中生產(chǎn)制造、生產(chǎn)制造，此室內(nèi)空間大家稱作潔凈凈化室。無塵室架構一般可分成三種：不銹鋼板鋁方通、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材，頂端及能用不...

E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關閉時進行，有排風時，應在比較大排風量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室...

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊...

12.4.2消防應急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應符合下列規(guī)定：1當照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應密封。3疏散走道上安裝的照明燈應...

（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學技術發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學技術的日新月異，新技術、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)...

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術夾層是相通的；而潔凈...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍...

10.1.1潔凈廠房內(nèi)應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應根據(jù)氣體用量、氣體品質和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體...

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當布置有精密設備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設。周圍振源對精密設備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個...

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送...

6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂...

5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。輕質壁板連接構造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴密結合，使?jié)崈羰倚纬梢粋€完整的匣體。板壁之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封...

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內(nèi)。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》GB50222的有關規(guī)定。裝修...

近年來，國內(nèi)設計、建造的潔凈廠房，一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級，還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求，但室內(nèi)采用高效空氣過濾送風系...

9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應根據(jù)原水水質和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質的要求，并結合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設備供應等情況，經(jīng)技術經(jīng)濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)；潔凈室（區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區(qū)）墻壁、樓...

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應分別按不同要求設置接地連接端子。在一...

3.2.1裝配式混凝土結構的潔凈室，應在預制構件上按設計圖紙預留孔、洞。3.2.2有耐壓、防滲漏要求潔凈室的混凝土施工應按設計要求采用抗?jié)B混凝土，并應制定配合比操作程序，按相關要求先做試塊的抗?jié)B試驗，澆筑后應分層搗實，加強養(yǎng)護管理。3.2.3潔凈區(qū)內(nèi)的現(xiàn)澆混凝...

5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內(nèi)裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內(nèi)裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規(guī)定著重于使?jié)崈魪S房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協(xié)調(diào)，使投資長期發(fā)揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能...

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。...

6.3.1管道安裝前應進行以下準備工作：1配管下料時應采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應與管軸線垂直，切口表面應平整、無裂紋，應去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。4普通...

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設置的給水系統(tǒng)。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據(jù)化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應...

10.1.1潔凈廠房內(nèi)應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應根據(jù)氣體用量、氣體品質和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體...

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內(nèi)。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間...

無塵車間工程主要包括無塵車間設計、施工和運行管理前后相關的三個環(huán)節(jié)。質量源于設計，設計是**。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護結構(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關設施。運...

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數(shù)和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應已連續(xù)運行24h以上；現(xiàn)場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》GB50222的有關規(guī)定。裝修...

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間。2干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內(nèi)。3易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。4當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通...

應檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應進行外觀檢查，內(nèi)容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，...