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C.3已裝過濾系統氣溶膠光度計掃描檢漏規程C.3.1進行已裝過濾系統掃描檢漏前，應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。...

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間...

9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經技術經濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內；潔凈室（區)內的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區）墻壁、樓...

5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規定著重于使潔凈廠房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協調，使投資長期發揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能...

8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應...

無塵車間工程主要包括無塵車間設計、施工和運行管理前后相關的三個環節。質量源于設計，設計是**。而凈化工程的施工又區別于一般的建筑工程，包括圍護結構(俗稱“房中房”)；空調凈化系統；供電、自控、弱電系統；純水、特氣、物料供應系統；廢氣、廢水處理系統及相關設施。運...

8.1.1潔凈室(區)工業管道的敷設應符合下列規定：1潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。2干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內。3易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。4當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通...

9.4.2凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節系統中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節系統調試中，系統啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當...

潔凈廠房中生產區、輔助區和各類生產設備的布置與潔凈室(區)內的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關，所以本規范規定：在潔凈室(區)內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相...

9.4.2凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節系統中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節系統調試中，系統啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修...

12.4.2消防應急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應符合下列規定：1當照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應密封。3疏散走道上安裝的照明燈應...

無塵室凈化車間管理規范1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入，物料進入，各類設備的搬入以及相關的設備，管線的維護管理，應做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室2、操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內設備及裝修...

17.3.4在系統和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉檢查，并應確認運轉正常。其中風機的試運行時間不少于2h，不得反轉，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態或靜態條件下的運行確認，應進行帶冷（熱）源的系統正常聯合試運轉，并不應少于8...

16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規定：在風系統內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現行的相關產品標準規定外，還應在系統和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標...

10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體...

5.2.2人員進出、材料出入、產品運送及設備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發生混雜、降低生產效率，并可能會使潔凈室(區)的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應充分考慮人員、物料設備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設施包括單人吹淋...

潔凈凈化室有三大標準：禁塵、帶塵、粉塵。不銹鋼風淋室做為進到凈化室的緩存安全通道之一，是操縱帶塵的比較好是凈化機器設備之一，它能夠比較大限度地降低職工出入潔凈凈化室所產生的環境污染難題。無塵室必須改造的緣故關鍵有：建筑工程設計不科學、以低擋商品替代***商品、...

潔凈室的主要作用是控制產品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產品能夠在良好的環境空間中生產制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數量來規定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有...

9.4.2凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節系統中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節系統調試中，系統啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當...

17.3.4在系統和設備的外觀檢查后應進行單機試運轉檢查，并應確認運轉正常。其中風機的試運行時間不少于2h，不得反轉，其滑動軸承最高溫度不得超過70℃。17.3.5安裝確認后應進行空態或靜態條件下的運行確認，應進行帶冷（熱）源的系統正常聯合試運轉，并不應少于8...

3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特...

11.3.6安裝空調設備四周的設備層地面應作防水處理，并應平整、無麻面、不起塵。該處地面應設擋水線，不應設排水溝。擋水線范圍之內設地漏，地漏水封高度應符合設備技術文件要求。當無明確要求時，不應小于70mm。冷凝水出水管應有閥門，無冷凝水排出季節閥門應關閉，并應...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修...

10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體...

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現場的凈化空調系統應已連續運行24h以上；現場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安...

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求的經技術經濟比較后確定：1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環境較好的區域；2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干...

潔凈室**主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%...

、溫濕度標準規定：潔凈區的溫度和相對濕度與藥品生產工藝要求相適應。無特殊要求時，潔凈區溫度為18℃～26℃，相對濕度控制在45%～65%。有特殊要求車間根據工藝控制。溫度觀察：檢查溫濕度計是否完整，視線正對溫濕度計水平讀取顯示的數據，需要記錄的應立即填入表格中...

3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特...