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湖北探針臺廠家

來源: 發(fā)布時間:2023-07-18

根據(jù)探針測試需要,XY 精密工作臺的技術(shù)要 求為:XY 向行程160 mm;精度±0.008 mm;重復 定位精度±0.003 mm;分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計時,為達到上述精密控制要求選用伺服電機 驅(qū)動,全閉環(huán)運動控制;整個工作臺需要放置于真 空腔體內(nèi),結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計尺寸,XY 工作臺結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式;X 向絲杠采用對稱方式。對于電機、絲杠、導軌等外購件,選型號時,需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運行情 況,要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣,外購 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號滿足上述要求,需要對相應外購件加裝特制 密封罩。探針臺的運營需要專業(yè)的人員和技術(shù)支持。湖北探針臺廠家

手動探針臺是一種手動控制的探針臺,通常用于沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下。該類探針臺的優(yōu)點是靈活、可變性高,易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。手動探針臺系統(tǒng)只需要少量的培訓,因此非常適合研發(fā)人員使用。半自動探針臺是一種半自動控制的探針臺,可以在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用。與手動探針臺相比,半自動探針臺的操作相對簡單,但需要使用者進行一些簡單的操作,如移動晶圓載物臺、調(diào)整顯微鏡焦距等。半自動探針臺通常需要進行一些預設(shè)置,以便能夠適應不同的測試環(huán)境。湖北探針臺廠家探針臺的設(shè)立有助于拓展對太空天體的認識。

自動探針臺主要功能:1. TTL專門使用測試儀接口;GPIB/RS232/網(wǎng)絡接口(選配);與測試機連接方便;2. Windows風格界面,動態(tài)顯示測試過程,MAP圖實時顯示、存儲;3. Map導航功能,map編輯(可編輯標注DIE屬性、測試區(qū)域);4. 自動測試方式有矩陣、圓形方式、Map方式;5. 圖像對準功能,自動掃描,自動首點對準;6. 不良品噴墨打點標記,墨點尺寸?0.5mm;7. 分級權(quán)限管理;8. 控制打印機打印測試結(jié)果;9. 配合上位機,上傳并記錄測試數(shù)據(jù)。

XY 精密工作臺結(jié)構(gòu)設(shè)計,由于XY 工作臺需要放置于真空腔體內(nèi),XY 工作臺結(jié)構(gòu)越緊湊,真空腔體就越小,設(shè)備尺寸也 就相應減小。結(jié)構(gòu)緊湊合理的XY 工作臺有利于 降低真空腔體加工難度、減少能源浪費。XY 工作臺整體處于真空腔體中,要求零部件結(jié)構(gòu)密致性好,零部件材料不能逸出空氣,材料表 面不能有揮發(fā)性油脂。XY 工作臺需要完全暴露在特 種環(huán)境中,所有零部件均需要通過耐腐蝕、耐低溫 性等試驗,對于電機、絲杠、導軌等外購件,如果沒 有合適的型號滿足上述要求,需要對相應外購件 加裝特制密封裝置,使外購件與腔體內(nèi)環(huán)境有效 隔絕。探針臺的科學研究成果對推動人類的科學技術(shù)進步有著舉足輕重的作用。

探針測試臺x-y工作臺的分類,縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為表示的平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。探針臺的建設(shè)需要全球頭腦的智慧和力量。安徽探針臺廠家

探針臺的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。湖北探針臺廠家

不同的顯微鏡,顯微鏡的支架會有所不同,通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。定位器平臺用于放置定位器(探針座)、形狀和尺寸根據(jù)測試應用不同會有不同的設(shè)計形式。樣品臺(載物臺)用于承載待測樣品,通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計,常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能,樣品臺還可根據(jù)測量需求,設(shè)計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應的移動定位功能,方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。定位器。定位器(又稱探針座),幫助用戶實現(xiàn)探針的精密移動定位。因此,結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、驅(qū)動絲桿精度、導向機構(gòu)的直線度、往復精度、長期使用時以上指標的可靠性都是選購定位器時應當考慮的主要指標。湖北探針臺廠家

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