2.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室（區）內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室（區）的送風量或回風量。12.4.4凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。浙江靜電無塵室檢測服務

16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規定：在風系統內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現行的相關產品標準規定外，還應在系統和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《室內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統正常運行、室內處于動態條件下，于每一班次結束之前檢測室內二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《空內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.10％的規定。16.4.24當需要測定分子態污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。微生物無塵室檢測范圍由HEPA或ULPA與風機組合在一起,構成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。

13.3.1可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板，或0.3mm~0.5mm厚鋼板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連接處應安裝連續的導電襯墊。施工直接安在圍護結構地面上的底板時，底板與地面之間應鋪2mm~3mm厚的電絕緣和能隔水汽的墊層。安裝過程中不得在底板上灑水。13.3.2焊接式電磁屏蔽室的壁板和頂板宜選用2mm厚鋼板，底板宜選用2.5mm~3mm厚鋼板。選用銅板、鋁板或不銹鋼板時，均宜選用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接時嚴禁燒穿屏蔽壁板，不得使壁板變形。當在屏蔽壁板表面粘貼鐵氧體等吸波材料時，必須把表面焊縫打磨平整。

E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關閉時進行，有排風時，應在比較大排風量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區與非潔凈區、室外環境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優于5級的單向流潔凈室，還應測定在門開啟狀態下，離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數。E.2.3有不可關閉的開口與鄰室相通的潔凈室，還應測定開口處的流速和流向。E.2.1靜壓差的測定應在所有房間的門關閉時進行，有排風時，應在比較大排風量條件下進行，并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差，直至測出潔凈區與非潔凈區、室外環境（或向室外開口的房間）之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優于5級的單向流潔凈室，還應測定在門開啟狀態下，離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數。E.2.3有不可關閉的開口與鄰室相通的潔凈室，還應測定開口處的流速和流向。無塵室的設計充分考慮了環境污染的來源。

13.2.5潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統、各種配管使用部分絕緣性材質時,應在其表面安裝金屬網,并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環境中,應根據生產工藝的需要設置靜電消除器.防靜電安全工作臺。13.2.5潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統送風口和風管,應選用導電材料制作,并應接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統、各種配管使用部分絕緣性材質時,應在其表面安裝金屬網,并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環境中,應根據生產工藝的需要設置靜電消除器.防靜電安全工作臺。在額定風量下,極易穿透粒徑法的效率在99.9995%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。上海國內無塵室檢測標準

塵室通常采用高效的HEPA（高效顆粒空氣）過濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過濾器，可有效過濾微小的灰塵。浙江靜電無塵室檢測服務

4.2.1潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環境等型式。浙江靜電無塵室檢測服務