主營產品: 微納加工技術服務|真空鍍膜技術服務|紫外光刻技術服務|材料刻蝕技術服務
材料刻蝕是一種常見的微納加工技術,用于制造微電子器件、MEMS器件、光學器件等。刻蝕是通過化學或物理作用將材料表面的一部分或全部去除,從而形...
真空鍍膜設備的維護周期通常根據其使用頻率、工作環境以及設備類型等因素來確定。一般來說,設備的日常維護應每天進行,而定期的專業維護則根據設備的...
金屬靶材是真空鍍膜中使用很普遍的靶材之一。它們具有良好的導電性、機械性能和耐腐蝕性,能夠滿足多種應用需求。常見的金屬靶材包括銅、鋁、鎢、鈦、...
半導體器件加工的質量控制與測試是確保器件性能穩定和可靠的關鍵環節。在加工過程中,需要對每個步驟進行嚴格的監控和檢測,以確保加工精度和一致性。...
廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺,面向半導體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領域,致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,建立了一條實驗室研發線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),同時形成了一支與硬件有機結合的專業人才隊伍。平臺當前緊抓技術創新和公共服務,面向國內外高校、科研院所以及企業提供開放共享,為技術咨詢、創新研發、技術驗證以及產品中試提供技術支持。