10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定：1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量；2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；3供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；4應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。江蘇潔凈工作臺潔凈室檢測標準

4.2.2因生產工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調系統的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內已建成的潔凈廠房調研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時，應進行技術經濟比較，做到技術上可靠，經濟上合理。上海純化水檢測潔凈室檢測第三方檢測機構非連續運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。7.3.3凈化空調系統新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理。

C.3已裝過濾系統氣溶膠光度計掃描檢漏規程C.3.1進行已裝過濾系統掃描檢漏前，應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合，上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規定的掃描速度，移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值：當讀數大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時，就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應停留持續測量一段時間，光度計獲得比較大讀數時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。潔凈環境是為生產工藝服務的，潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求，這是理所當然的。

9.5.4潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《和火災危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。9.5.5防靜電接地系統應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環。在防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則，其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時，各種功能接地系統的接地體必須遠離防雷接地系統的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》GB50057的有關規定。對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。江蘇潔凈工作臺潔凈室檢測服務至上

潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施。江蘇潔凈工作臺潔凈室檢測標準

5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。輕質壁板連接構造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴密結合，使潔凈室形成一個完整的匣體。板壁之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內，同時使潔凈室在正常工作時易于保持正壓，減少能量的損耗。此外，潔凈室的關鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要***密封。目前國內使用的密封方法很多，如液槽密封、機械壓墊密封等，但必須做到涂抹或填嵌方便，操作簡單，而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝。總之，沒有經過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進入潔凈室內。潔凈室頂棚用輕質壁板應具有一定的承重能力，以便施工、運行時人員行走。江蘇潔凈工作臺潔凈室檢測標準