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高精度。目前半導體工藝的典型線寬為0.25μm，并正向0.18μm過渡，2009年的預測線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3，那么就要求10nm量級的精度，而且晶片尺寸還在增大，達到300mm。這就意味著測量定位系統的精度要優于3×10的-8次方，相應的激光穩頻精度應該是10的-9次方數量級。 高速度。目前加工機械的速度已經提高到1m/sec以上，上世紀80年代以前開發研制的儀器已不適應市場的需求。例如惠普公司的干涉儀市場大部分被英國Renishaw所占領，其原因是后者的速度達到了1m/sec。 檢測軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。廣東激光干涉儀金線檢測激光干涉儀 ...

頻率影響 1 當頻率自額定值偏離±10%(但對相位表和功率因數表為±2%，對單相無功功率表為±5%)時，由此所引起的儀表指示值的改變應不超過表7 中的規定值。如果在儀表上注明額定頻率范圍，則在此范圍內的任一頻率下，儀表的基本誤差都應不超過規定值。如果在儀表上除注明額定頻率外，還注明有擴大的頻率范圍時，則在此范圍內的任一頻率下，儀表的基本誤差應不超過表7 中規定值的兩倍。儀表輔助電路的電源，當其頻率自額定值偏離±2%時，由此引起的儀表指示值的改變，應不超過表7 規定值的一半。 2 檢驗頻率的影響時，應遵守有關規定(對頻率的規定除外)，且應除去變差影響。試驗是在標度尺的幾何中心附近...

互感器分為電壓互感器和電流互感器兩大類。電壓互感器可在高壓和超高壓的電力系統中用于電壓和功率的測量等。電流互感器可用在交換電流的測量、交換電度的測量和電力拖動線路中的保護。 電壓互感器 按用途分 測量用電壓互感器或電壓互感器的測量繞組：在正常電壓范圍內，向測量、計量裝置提供電網電壓信息；保護用電壓互感器或電壓互感器的保護繞組：在電網故障狀態下，向繼電保護等裝置提供電網故障電壓信息。 按絕緣介質分 干式電壓互感器：由普通絕緣材料浸漬絕緣漆作為絕緣，多用在及以下低電壓等級；澆注絕緣電壓互感器：由環氧樹脂或其他樹脂混合材料澆注成型，多用在及以下電壓等級；油浸式電壓互...

高靈敏，高分辨，小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。 標準化。通訊接口過去常用GPIB，RS232，目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI。現在，技術前面者設法控制技術標準，參與標準制訂是儀器開發的基礎研究工作之一。 配合數控設備的技術創新(如主軸速度，精度創成) 數控設備的主要誤差來源可分為幾何誤差（共有21項）和熱誤差。對于重復出現的系統誤差，可采用軟件修正；對于隨機誤差較大的情況，要采用實時修正方法。對于熱誤差，一般要通過溫度測量進行修正。 檢測軸承誤差在±5μm之間，由軸承誤差引起。韶關激光干涉儀共焦技術激光干涉儀干涉儀維護：1、儀器...

利用不同構形的彈性敏感元件可測量各種物體的應力、應變、壓力、扭矩、加速度等機械量。半導體應變片與電阻應變片(見電阻應變片相比，具有靈敏系數高（約高 50～100倍）、機械滯后小、體積小、耗電少等優點。P型和N型硅的靈敏系數符號相反，適于接成電橋的相鄰兩臂測量同一應力。早期的半導體應變片采用機械加工、化學腐蝕等方法制成，稱為體型半導體應變片。它的缺點是電阻和靈敏系數的溫度系數大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應用和發展。自70年代以來，隨著半導體集成電路工藝的迅速發展，相繼出現擴散型、外延型和薄膜型半導體應變片，上述缺點得到一定克服。半導體應變片主要應用于飛機、導彈、車輛、船舶、機床、橋梁...

阻尼時間 1 熱電系、熱線系及靜電系儀表，吊絲式儀表和指針長度大于150MM 的儀表，其可動部分的阻尼時間應不超過6S。其余的儀表應不超過4S。當被測量突然改變時，儀表指示器的前列次偏轉值與穩定后的偏轉值之比應不大于1.5。凡外電路電阻有規定范圍時，當電阻在這個范圍內變動時，其阻尼時間均應滿足要求。 2 測定儀表指示器的阻尼時間時，應遵守規定。測定阻尼時間時，應自被測之量開始改變(或放回指示器)時起，至指示器離結尾靜止位置不大于標度尺長度1%時止。在測定阻尼時間的同時，讀取指示器前列次偏轉值與穩定后的偏轉值，然后求出其比值。測定阻尼時間的具體規定如下：A.單向標度尺儀表——自接...

激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床:雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。數控機床動態性能檢測利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。寄生（錯誤）運動將被確定。3D激光干涉儀位移激光干涉儀“光伏效應”。指光照使不均勻半導體或半導體與金屬結合的不同部位之間產生電位差的現象。它首先是由光子（光波）轉化為電子、...

在光電效應中，要釋放光電子顯然需要有足夠的能量。根據經典電磁理論，光是電磁波，電磁波的能量決定于它的強度，即只與電磁波的振幅有關，而與電磁波的頻率無關。而實驗規律中的較早、第二兩點顯然用經典理論無法解釋。第三條也不能解釋，因為根據經典理論，對很弱的光要想使電子獲得足夠的能量逸出，必須有一個能量積累的過程而不可能瞬時產生光電子。光電效應里，電子的射出方向不是完全定向的，只是大部分都垂直于金屬表面射出，與光照方向無關，光是電磁波，但是光是高頻震蕩的正交電磁場，振幅很小，不會對電子射出方向產生影響。所有這些實際上已經曝露出了經典理論的缺陷，要想解釋光電效應必須突破經典理論以太網Web界面（工業4.0...

電壓影響 1 當電壓自額定值偏離±10%(對比率表和由化學電源和交流電網作供電電源的兆歐表)、±15%(對整流系儀表和鉗形表)或±20%(對其它儀表)時，由此引起儀表指示值的改變應不超過規定值。儀表輔助電路用電源、由內附手搖發電機作供電電源的兆歐表，當其電壓自額定值偏離±10%時，指示值改變應不超過表7 規定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗在標度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點進行，整步表在同步點進行。如果在儀表上注明額定電壓范圍，則在此范圍內的任一電壓下，儀表基本誤差應不超過規定值。 2 檢驗電壓影響時應遵守有關規定(對電壓的規定除外)，且應除去變...

(4)計算機輔助測量理論。信號處理系統的標準化、模塊化、兼容和集成。例如，目前多數采用ISA總線、IEEE488口，今后計算機可能取消ISA總線，用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應用。過去，中國生產的儀器滿足于數字顯示，沒有數據交換接口，難以進入國際市場。國外生產的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口。RS232：目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI。在此轉折期為我們提供了機遇。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數量級，對于干涉信號處理顯得太低，可以采取聯合互補的方法形成模塊系列，同時降低成本，從總體上提高研發工作的效率。根據已有基礎，發展特長，有利于克服重復研究。...

升降變差 1 能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表，其指示值的升降變差不應超過表7 規定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規定。 2 測定升降變差時，應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個方向平穩地移向標度尺某一個分度線，讀取標準表的讀數；然后再從另一個方向平穩地移向標度尺的同一個分度線，再次讀取標準表的讀數，標準表兩次讀數之差即為升降變差。允許根據被檢表讀數之差測定升降變差，這時應維持被測量之值不變。測...

升降變差 1 能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表，其指示值的升降變差不應超過表7 規定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規定。 2 測定升降變差時，應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個方向平穩地移向標度尺某一個分度線，讀取標準表的讀數；然后再從另一個方向平穩地移向標度尺的同一個分度線，再次讀取標準表的讀數，標準表兩次讀數之差即為升降變差。允許根據被檢表讀數之差測定升降變差，這時應維持被測量之值不變。測...

電測量指示儀表的分類可分為：（1）按相別分：單相、三相三線、三相四線等。（2）按功能及用途分：有功電表、無功電表、比較大需量表、復費率電表、多功能電表、銅損表、鐵損表等。（3）按工作原理分：感應式、電子式、機電式等。電力系統各類電表的技術要求（1）接入中注點絕緣系統的電能計量裝置，應采用三相三線有功、無功電表。接入非中性點絕緣系統的電能計量裝置，應采用三相四線有功、無功電表或3只感應式無止逆單相電表。（2）接入中性點絕緣系統的3臺電壓互感器，35kV及以上的宜采用Y/y方式接線；35kV以下的宜采用V/V方式接線。接入非中性點絕緣系統的3臺電壓互感器，宜采用Y0/y0方式接線。其一次側接地方式...

半導體應變片:用于車輛等機械量測量的元件.半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件。利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件，又稱半導體應變片。壓阻效應是半導體晶體材料在某一方向受力產生變形時材料的電阻率發生變化的現象（見壓阻式傳感器）。半導體應變片需要粘貼在試件上測量試件應變或粘貼在彈性敏感元件上間接地感受被測外力。振動分析有助于檢測共振頻率。段差激光干涉儀平面度測量激光干涉儀這些內容不局限于一種技術方案，而是幾種不同技術方案中概括出來的共同點。如采用無導軌干涉儀，對跟蹤系統的要求可...

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱：laser interferometer用于齒輪箱和驅動動力傳動系的機械負載測試的運動跟蹤。高精度激光干涉儀金線檢測激光干涉儀在光電效應中，要釋放光電子顯然需要有足夠的能量。根據經典電磁理...

干涉儀應用：幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。測量激光干涉儀激光干涉儀結構原理：普通電流互感器結構原理：電流互感器的結構較為簡單，由相互絕緣的一...

升降變差 1 能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表，其指示值的升降變差不應超過表7 規定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規定。 2 測定升降變差時，應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個方向平穩地移向標度尺某一個分度線，讀取標準表的讀數；然后再從另一個方向平穩地移向標度尺的同一個分度線，再次讀取標準表的讀數，標準表兩次讀數之差即為升降變差。允許根據被檢表讀數之差測定升降變差，這時應維持被測量之值不變。測...

在物理學家關于氣體或其他有重物體所形成的理論觀念同麥克斯韋關于所謂空虛空間中的電磁過程的理論之間，有著深刻的形式上的分歧。這就是，我們認為一個物體的狀態是由數目很大但還是有限個數的原子和電子的坐標和速度來完全確定的；與此相反，為了確定一個空間的電磁狀態，我們就需要用連續的空間函數，因此，為了完全確定一個空間的電磁狀態，就不能認為有限個數的物理量就足夠了。按照麥克斯韋的理論，對于一切純電磁現象因而也對于光來說，應當把能量看作是連續的空間函數，而按照物理學家的看法，一個有重客體的能量，則應當用其中原子和電子所帶能量的總和來表示。一個有重物體的能量不可能分成任意多個、任意小的部分，而按照光的麥克斯韋...

引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測器已經發展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測實驗...

用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luo gan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播，這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確，其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年，A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質中的光速的實驗，以驗明運動介質是否曳引以太。1887年，A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對jue dui靜止的以太的運動。對以太的...

光電效應分為：外光電效應和內光電效應。內光電效應是被光激發所產生的載流子（自由電子或空穴）仍在物質內部運動，使物質的電導率發生變化或產生光生伏特的現象。外光電效應是被光激發產生的電子逸出物質表面，形成真空中的電子的現象。外光電效應在光的作用下，物體內的電子逸出物體表面向外發射的現象叫做外光電效應。外光電效應的一些實驗規律a．只當照射物體的光頻率不小于某個確定值時，物體才能發出光電子，這個頻率叫做極限頻率(或叫做截止頻率)，相應的波長λ0叫做極限波長。不同物質的極限頻率和相應的極限波長 是不同的。干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統及低溫恒溫器。番禺區皮米精度激光干涉儀激光干涉儀利用干涉原理測量光程之...

干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類，前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等，后者有法布里-珀luo gan涉儀等。干涉儀的應用極為guang fan。長度測量在雙光束干涉儀中，若介質折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發生變化所造成，根據條紋的移動數可進行長度的精確比較或jue dui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luo gan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的...

頻率影響 1 當頻率自額定值偏離±10%(但對相位表和功率因數表為±2%，對單相無功功率表為±5%)時，由此所引起的儀表指示值的改變應不超過表7 中的規定值。如果在儀表上注明額定頻率范圍，則在此范圍內的任一頻率下，儀表的基本誤差都應不超過規定值。如果在儀表上除注明額定頻率外，還注明有擴大的頻率范圍時，則在此范圍內的任一頻率下，儀表的基本誤差應不超過表7 中規定值的兩倍。儀表輔助電路的電源，當其頻率自額定值偏離±2%時，由此引起的儀表指示值的改變，應不超過表7 規定值的一半。 2 檢驗頻率的影響時，應遵守有關規定(對頻率的規定除外)，且應除去變差影響。試驗是在標度尺的幾何中心附近...

測控技術與儀器優先領域 在基礎研究的初期，對于能否有突破性進展是很難預測的。但是，當已經取得突破性進展時，則需要有一個轉化機制以進入市場。 （1）納米溯源技術和系統。 (2)介入安裝和制造的坐標跟蹤測量系統。 關鍵理論和技術：超半球反射器(n=2或在機構上創新)，快速、多路干涉儀(頻差3～5兆)，二維精密跟蹤測角系統(0.2″～0.5″)，通用信號處理系統(工作頻率5兆)，無導軌半導體激光測量系統(分辨率1μm)，熱變形仿真，力變形仿真。 坐標測量機軸位置捕獲。惠州激光干涉儀厚度測量激光干涉儀 干涉儀注意事項 1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用...

“光伏效應”。指光照使不均勻半導體或半導體與金屬結合的不同部位之間產生電位差的現象。它首先是由光子（光波）轉化為電子、光能量轉化為電能量的過程；其次，是形成電壓過程。有了電壓，就像筑高了大壩，如果兩者之間連通，就會形成電流的回路。光伏發電，其基本原理就是“光伏效應”。太陽能**的任務就是要完成制造電壓的工作。因為要制造電壓，所以完成光電轉化的太陽能電池是陽光發電的關鍵。簡單來說就是在光作用下能使物體產生一定方向電動勢的現象。基于該效應的器件有光電池和光敏二極管、三極管。傳感頭的緊湊和模塊化設計，以及柔性玻璃纖維使得能夠在整個工作范圍內快速安裝和快速對齊。江蘇電子激光干涉儀激光干涉儀 內光電效...

“光伏效應”。指光照使不均勻半導體或半導體與金屬結合的不同部位之間產生電位差的現象。它首先是由光子（光波）轉化為電子、光能量轉化為電能量的過程；其次，是形成電壓過程。有了電壓，就像筑高了大壩，如果兩者之間連通，就會形成電流的回路。光伏發電，其基本原理就是“光伏效應”。太陽能**的任務就是要完成制造電壓的工作。因為要制造電壓，所以完成光電轉化的太陽能電池是陽光發電的關鍵。簡單來說就是在光作用下能使物體產生一定方向電動勢的現象。基于該效應的器件有光電池和光敏二極管、三極管。我們的技術合作伙伴etalon AG基于IDS3010(做到這一點)。測量激光干涉儀金線檢測激光干涉儀激光干涉儀系統可同步測量...

按一次繞組對地運行狀態分 一次繞組接地的電壓互感器：單相電壓互感器一次繞組的末端或三相電壓互感器一次繞組的中性點直接接地；一次繞組不接地的電壓互感器：單相電壓互感器一次繞組兩端子對地都是絕緣的；三相電壓互感器一次繞組的各部分，包括接線端子對地都是絕緣的，而且絕緣水平與額定絕緣水平一致。 按磁路結構分 單級式電壓互感器：一次繞組和二次繞組（根據需要可設多個二次繞組同繞在一個鐵芯上，鐵芯為地電位。我國在及以下電壓等級均用單級式；串級式電壓互感器：一次繞組分成幾個匝數相同的單元串接在相與地之間，每一單元有各自獨自的鐵芯，具有多個鐵芯，且鐵芯帶有高電壓，二次繞組（根據需要可設多個...

干涉儀是根據光的干涉原理制成的一種儀器。分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類。其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息， 從而獲得實驗所關心的物理量。干涉儀并不僅只局限于光干涉儀。干涉儀在天文學(Thompson et al,2001)，光學，工程測量，海洋學，地震學，波譜分析，量子物理實驗，遙感，雷達等等精密測量領域都有廣泛應用（Hariharan，2007）。根據光干涉原理制成的儀器。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。三軸機床和坐標測量機的21種可能運動誤差的校準，復雜 且實惠。白云區激光干涉儀多層厚度激光干涉儀被光束照射到的電子會吸收...

外觀檢查規定 1 表盤上或外殼上至少應有下述標志符號：A.儀表名稱或被測之量的標志符號；B.型號；C.系別符號；D.準確度等級；E.廠名或廠標；F.制造標準號；G.制造年月或出廠編號；H.電流種類或相數，三相儀表中測量機構的元件數量；I.正常工作位置；J.互感器的變比(指與互感器聯用的儀表)；K.定值導線值(或符號)和分流器額定電壓降值(對低量限電壓表的要求)。 2 儀表的端鈕和轉換開關上應有用途標志； 3 從外表看，零部件完整，無松動，無裂縫，無明顯殘缺或污損。當傾斜或輕搖儀表時，內部無撞擊聲； 4 向左右兩方向旋動機械調零器，指示器應轉動靈活，左右對稱； 使用干...

互感器： 電流互感器和電壓互感器的統稱。 互感器又稱為儀用變壓器，是電流互感器和電壓互感器的統稱。能將高電壓變成低電壓、大電流變成小電流，用于量測或保護系統。其功能主要是將高電壓或大電流按比例變換成標準低電壓（100V）或標準小電流（5A或1A，均指額定值），以便實現測量儀表、保護設備及自動控制設備的標準化、小型化。同時互感器還可用來隔開高電壓系統，以保證人身和設備的安全。 微型電流互感器一次繞組電流I1與二次繞組I2的電流比，叫實際電流比K。微型電流互感器在額定工作電流下工作時的電流比叫電流互感器額定電流比，用Kn表示。Kn=I1n/I2n 使用BiSS-C接口觸發八個...