干涉儀維護:1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內,防止振動,儀器搬動時,應托住底座,以防導軌變形。2、光學零件不用時,應存放在清潔的干燥盆內,以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和yi mi混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應用T5精密儀表油潤滑。4、使用時,各調整部位用力要適當,不要強旋、硬扳。5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態。6、經過精密調整的儀器部件上的螺絲,都涂有紅漆,不要擅自轉動。環境補償模塊(ECU)。深圳3D激光干涉儀激光干涉儀利用不同構形的彈...
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱:laser interferometer2000轉/分時的總振動高于150納米,可能導致電機 故障。廣東激光干涉儀外形尺寸測量激光干涉儀 高靈敏,高分辨,小型化。如將光譜儀集成到一塊電路...
電壓影響 1 當電壓自額定值偏離±10%(對比率表和由化學電源和交流電網作供電電源的兆歐表)、±15%(對整流系儀表和鉗形表)或±20%(對其它儀表)時,由此引起儀表指示值的改變應不超過規定值。儀表輔助電路用電源、由內附手搖發電機作供電電源的兆歐表,當其電壓自額定值偏離±10%時,指示值改變應不超過表7 規定值的一半。指示值改變的表示方法與基本誤差表示方法相同。試驗在標度尺的幾何中心附近和上量限附近的兩點進行,整步表在同步點進行。如果在儀表上注明額定電壓范圍,則在此范圍內的任一電壓下,儀表基本誤差應不超過規定值。 2 檢驗電壓影響時應遵守有關規定(對電壓的規定除外),且應除去變...
單頻激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。使用干涉測量法進行旋轉運動誤差補償。三維輪廓激光干涉儀外形尺寸測量激光干涉儀 阻尼時間 1 熱電系、熱線系及靜電系儀表,吊絲式...
擴散型半導體應變片 這種應變片是將 P型雜質擴散到一個高電阻N型硅基底上,形成一層極薄的P型導電層,然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成(圖2)。它的優點是穩定性好,機械滯后和蠕變小,電阻溫度系數也比一般體型半導體應變片小一個數量級。缺點是由于存在P-N結,當溫度升高時,絕緣電阻大為下降。半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線,結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件。新型固態壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴散法制成的。 三坐標測量機和加工中心的校準。模切尺寸激光干涉儀缺陷檢測儀器激光干涉儀 (3)非接觸...
引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的(Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(Weiss 1972)。截止jin ri,激光干涉儀引力波探測器已經發展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀,而另外一類引力波探測實驗...
雙頻激光干涉儀:在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件,還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。晶圓表面測量可以在各種各樣的目標上進行測量。光電激光干涉儀形貌測量激光干涉儀在物理學家關于氣體或其他有重物體所形成的理論觀念同麥克斯韋關于所...
引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的(Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統(Weiss 1972)。截止jin ri,激光干涉儀引力波探測器已經發展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實驗宣稱shou ci直接測量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認為是兩路光線的干涉儀,而另外一類引力波探測實驗...
(4)計算機輔助測量理論。信號處理系統的標準化、模塊化、兼容和集成。例如,目前多數采用ISA總線、IEEE488口,今后計算機可能取消ISA總線,用于筆記本電腦的USB接口將廣泛應用。過去,中國生產的儀器滿足于數字顯示,沒有數據交換接口,難以進入國際市場。國外生產的儀器普遍配備IEEE488(GPIB)口。RS232:目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI。在此轉折期為我們提供了機遇。目前虛擬儀器的工作頻段在千赫數量級,對于干涉信號處理顯得太低,可以采取聯合互補的方法形成模塊系列,同時降低成本,從總體上提高研發工作的效率。根據已有基礎,發展特長,有利于克服重復研究。...
用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luo gan涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大,因而有極高的光譜分辨率,常用作光譜的精細結構和超精細結構分析。歷史上的作用。19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播,這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性。以干涉原理為基礎的實驗極為精確,其中極有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。1851年,A.H.L.菲佐用特別設計的干涉儀做了關于運動介質中的光速的實驗,以驗明運動介質是否曳引以太。1887年,A.A.邁克耳孫和E.W.莫雷合作利用邁克耳孫干涉儀試圖檢測地球相對jue dui靜止的以太的運動。對以太的...
光控制電器:光伏控制器利用光電管制成的光控制電器,可以用于自動控制,如自動計數、自動報警、自動跟蹤等等,右上圖是光控繼電器的示意圖,它的工作原理是:當光照在光電管上時,光電管電路中產生電光流,經過放大器放大,使電磁鐵M磁化,而把銜鐵N吸住,當光電管上沒有光照時,光電管電路中沒有電流,電磁鐵M就自動控制,利用光電效應還可測量一些轉動物體的轉速。 制造光電倍增管:算式與觀察不符時(即沒有射出電子或電子動能小于預期),可能是因為系統沒有完全的效率,某些能量變成熱能或輻射而失去了。 實時通訊接口:HSSL,AquadB和Sin / Cos。高精度激光干涉儀金線檢測激光干涉儀穿心式電流互感器其...
這些內容不局限于一種技術方案,而是幾種不同技術方案中概括出來的共同點。如采用無導軌干涉儀,對跟蹤系統的要求可以降低;采用二維精密跟蹤測角系統在1M3測量范圍內可以得到高精度;有了超半球反射鏡可以提高4路跟蹤方案的精度。在現場進行介入制造和裝配不能等待很長時間,力和熱變形的補償是必須的而且需要足夠快,現在的技術還有相當大的差距,所以這些進展是關鍵性的。應用范圍:新型并行機構機床的鑒定,飛機裝配型架的鑒定,大型設備安裝,用于生物芯片精密機器人校準等。100pm/步的線性偏移被確定。東莞激光干涉儀平臺激光干涉儀電測量指示儀表的分類可分為:(1)按相別分:單相、三相三線、三相四線等。(2)按功能及用途...
測控技術與儀器優先領域 在基礎研究的初期,對于能否有突破性進展是很難預測的。但是,當已經取得突破性進展時,則需要有一個轉化機制以進入市場。 (1)納米溯源技術和系統。 (2)介入安裝和制造的坐標跟蹤測量系統。 關鍵理論和技術:超半球反射器(n=2或在機構上創新),快速、多路干涉儀(頻差3~5兆),二維精密跟蹤測角系統(0.2″~0.5″),通用信號處理系統(工作頻率5兆),無導軌半導體激光測量系統(分辨率1μm),熱變形仿真,力變形仿真。 3軸:測量不穩定的俯仰pitch和偏航運動yaw。安徽平臺校準激光干涉儀激光干涉儀用作高分辨率光譜儀。法布里-珀luo gan涉...
干涉儀是根據光的干涉原理制成的一種儀器。分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類。其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息, 從而獲得實驗所關心的物理量。干涉儀并不僅只局限于光干涉儀。干涉儀在天文學(Thompson et al,2001),光學,工程測量,海洋學,地震學,波譜分析,量子物理實驗,遙感,雷達等等精密測量領域都有廣泛應用(Hariharan,2007)。根據光干涉原理制成的儀器。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的,其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。使用干涉測量法進行旋轉運動誤差補償。光電激光干涉儀檢測激光干涉儀(4)計算機輔助測量理論。信號處理系統的標準化、模塊化、...
干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類,前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉儀及其變型泰曼干涉儀、馬赫-秦特干涉儀等,后者有法布里-珀luo gan涉儀等。干涉儀的應用極為guang fan。長度測量在雙光束干涉儀中,若介質折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發生變化所造成,根據條紋的移動數可進行長度的精確比較或jue dui測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀luo gan涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。折射率測定兩光束的幾何路程保持不變,介質折射率變化也可導致光程差的改變,從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的...
高靈敏,高分辨,小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。 標準化。通訊接口過去常用GPIB,RS232,目前有可能成為替代物的高性能標準是USB、IEEE1394和VXI?,F在,技術前面者設法控制技術標準,參與標準制訂是儀器開發的基礎研究工作之一。 配合數控設備的技術創新(如主軸速度,精度創成) 數控設備的主要誤差來源可分為幾何誤差(共有21項)和熱誤差。對于重復出現的系統誤差,可采用軟件修正;對于隨機誤差較大的情況,要采用實時修正方法。對于熱誤差,一般要通過溫度測量進行修正。 電機振動的非接觸頻率分析。天津翹曲度激光干涉儀激光干涉儀數控轉臺分度精度的檢測:數控轉臺分度精度...
一次繞組可調,二次多繞組電流互感器。這種電流互感器的特點是變比量程多,而且可以變更,多見于高壓電流互感器。其一次繞組分為兩段,分別穿過互感器的鐵心,二次繞組分為兩個帶抽頭的、不同準確度等級的獨自繞組。一次繞組與裝置在互感器外側的連接片連接,通過變更連接片的位置,使一次繞組形成串聯或并聯接線,從而改變一次繞組的匝數,以獲得不同的變比。帶抽頭的二次繞組自身分為兩個不同變比和不同準確度等級的繞組,隨著一次繞組連接片位置的變更,一次繞組匝數相應改變,其變比也隨之改變,這樣就形成了多量程的變比。當干擾信號不敏感時,調制信號的幅度對位移敏感。測量激光干涉儀運動平臺激光干涉儀用連續空間函數來運算的光的波動理...
升降變差 1 能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表,其指示值的升降變差不應超過表7 規定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規定。 2 測定升降變差時,應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下,首先使被檢表指示器從一個方向平穩地移向標度尺某一個分度線,讀取標準表的讀數;然后再從另一個方向平穩地移向標度尺的同一個分度線,再次讀取標準表的讀數,標準表兩次讀數之差即為升降變差。允許根據被檢表讀數之差測定升降變差,這時應維持被測量之值不變。測...
利用不同構形的彈性敏感元件可測量各種物體的應力、應變、壓力、扭矩、加速度等機械量。半導體應變片與電阻應變片(見電阻應變片相比,具有靈敏系數高(約高 50~100倍)、機械滯后小、體積小、耗電少等優點。P型和N型硅的靈敏系數符號相反,適于接成電橋的相鄰兩臂測量同一應力。早期的半導體應變片采用機械加工、化學腐蝕等方法制成,稱為體型半導體應變片。它的缺點是電阻和靈敏系數的溫度系數大、非線性大和分散性大等。這曾限制了它的應用和發展。自70年代以來,隨著半導體集成電路工藝的迅速發展,相繼出現擴散型、外延型和薄膜型半導體應變片,上述缺點得到一定克服。半導體應變片主要應用于飛機、導彈、車輛、船舶、機床、橋梁...
光控制電器:光伏控制器利用光電管制成的光控制電器,可以用于自動控制,如自動計數、自動報警、自動跟蹤等等,右上圖是光控繼電器的示意圖,它的工作原理是:當光照在光電管上時,光電管電路中產生電光流,經過放大器放大,使電磁鐵M磁化,而把銜鐵N吸住,當光電管上沒有光照時,光電管電路中沒有電流,電磁鐵M就自動控制,利用光電效應還可測量一些轉動物體的轉速。 制造光電倍增管:算式與觀察不符時(即沒有射出電子或電子動能小于預期),可能是因為系統沒有完全的效率,某些能量變成熱能或輻射而失去了。 低電子噪聲和良好的光學穩定性。廣州納米精度激光干涉儀激光干涉儀 按一次繞組對地運行狀態分 一次繞組接地...
單頻激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。更多的測量軸有助于更多的旋轉參數:偏心率,表面質量, 傾斜誤差和徑向運動。傳感器激光干涉儀厚度測量激光干涉儀這些內容不局限于一種技術方...
波長的測量任何一個以波長為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來測量波長的方法。以國際米為標準,利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-珀luo gan 涉儀(標準具)曾被用來確定波長的初級標準(鎘紅譜線波長)和幾個次級波長標準,從而通過比較法確定其他光譜線的波長。檢驗光學元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡,平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡,可根據干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變,從而評估透鏡的波像差。規定電動機的振動小于100nm。皮米精度激光干涉儀色散共焦激光干...
體型半導體應變片這種半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線,結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應變片可分為6種。①普通型:它適合于一般應力測量;②溫度自動補償型:它能使溫度引起的導致應變電阻變化的各種因素自動抵消,只適用于特定的試件材料;③靈敏度補償型:通過選擇適當的襯底材料(例如不銹鋼),并采用穩流電路,使溫度引起的靈敏度變化極??;④高輸出(高電阻)型:它的阻值很高(2~10千歐),可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓,因而可不經放大而直接接入指示儀表。⑤超線性型:它在比較寬的應力范圍內,呈現較寬的應變線性區域,適用于大應變范圍的場合;⑥P-N組合溫度補償型...
不同變比電流互感器。這種型號的電流互感器具有同一個鐵心和一次繞組,而二次繞組則分為兩個匝數不同、各自獨自的繞組,以滿足同一負荷電流情況下不同變比、不同準確度等級的需要,例如在同一負荷情況下,為了保證電能計量準確,要求變比較小一些(以滿足負荷電流在一次額定值的2/3左右),準確度等級高一些(如1K1.1K2為200/5.0.2級);而用電設備的繼電保護,考慮到故障電流的保護系數較大,則要求變比較大一些,準確度等級可以稍低一點(如2K1.2K2為300/5.1級)。檢測電機的軸承誤差。粗糙度激光干涉儀共焦激光干涉儀光電效應分為:外光電效應和內光電效應。內光電效應是被光激發所產生的載流子(自由電子或...
(6)半導體激光器計量特性的研究和創新。半導體激光器用于計量需要解決很多問題(如線寬、定標、變頻等)。但如果解決了諸多問題以后,半導體激光系統比氣體激光系統更復雜,就不會有競爭力。有些問題在物理層面上也沒有完全解決。例如半導體激光器如果能形成雙頻,無疑是一種十分重要的特性,如果既能掃頻又有兩個相近的頻率掃描,就會成為一種新的無導軌測量工具。本專業培養具備精密儀器設計制造以及測量與控制方面基礎知識與應用能力,能在國民經濟各部門從事測量與控制領域內有關技術、儀器與系統的設計制造、科技開發、應用研究、運行管理等方面的高級工程技術人才。在2000轉/分時,電動機產生270Hz的振動,反過來 以345H...
單頻激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。檢測電機的軸承誤差。測量激光干涉儀儀器激光干涉儀激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床:雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙...
利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何干涉儀路程或介質折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度,干涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(~10-7米)。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的,其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。超長距離測量,齒輪傳動間隙測量。納米精度激光干涉儀激光干涉儀干涉儀分雙光束干涉儀和多光束干涉儀兩大類,前者有瑞利干涉儀、邁克耳孫干涉...
工作原理:在供電用電的線路中,電流相差從幾安到幾萬安,電壓相差從幾伏到幾百萬伏。線路中電流電壓都比較高,如直接測量是非常危險的。為便于二次儀表測量需要轉換為比較統一的電流電壓,使用互感器起到變流變壓和電氣隔離的作用。顯示儀表大部分是指針式的電流電壓表,所以電流互感器的二次電流大多數是安培級的。隨著時代發展,電量測量大多已經達到數字化,而計算機的采樣的信號一般為毫安級(0-5V、4-20mA等)。微型電流互感器二次電流為毫安級,主要起大互感器與采樣之間的橋梁作用。能夠測量液體的表面運動,開啟了在各科學和工業領域實現獨特應用的可能性。山東激光干涉儀外形尺寸測量激光干涉儀多抽頭電流互感器。這種型號的...
利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何干涉儀路程或介質折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度,干涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(~10-7米)。所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的,其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。超長距離測量,齒輪傳動間隙測量。翹曲度激光干涉儀色散共焦激光干涉儀 薄膜型半導體應變片 這種應變片是利用真空沉積技術將半導體...
升降變差 1 能耐受機械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進行檢驗的電磁系和鐵磁電動系儀表,其指示值的升降變差不應超過表7 規定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應超過表的規定。 2 測定升降變差時,應在極性不變(當用直流檢驗時)和指示器升降方向不變的前提下,首先使被檢表指示器從一個方向平穩地移向標度尺某一個分度線,讀取標準表的讀數;然后再從另一個方向平穩地移向標度尺的同一個分度線,再次讀取標準表的讀數,標準表兩次讀數之差即為升降變差。允許根據被檢表讀數之差測定升降變差,這時應維持被測量之值不變。測...