避免接觸皮膚、眼睛和衣服;存儲:密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風:良好的通風措施,保持良好通風人員保護設備:橡膠手套、防護目鏡,避免接觸皮膚、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽壓;9.物理和化學性能物理測試:液體顏色:微黃氣味:類氨熔點:-24~-23℃沸點:165~204℃閃點:110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑:溶于部分有機溶劑PH值:10.穩定性與活性穩定性:穩定危險反應:有機和無機酸、強氧化劑、堿金屬、強酸混溶性:強氧化劑和酸不能混溶,在高溫氣壓下可與二硫化碳反應避免條件:熱、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>。剝離液可以用在什么地方;浙江格林達剝離液銷售價格
所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種。技術方案中,所述的環胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種。技術方案中,所述的緩蝕劑為三唑類物質。的技術方案中,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一種。技術方案中,所述的潤濕劑含有羥基。技術方案中,所述的潤濕劑為聚乙二醇、甘油中的任意一種。經由上述的技術方案可知,與現有技術相比,本發明具有以下有益效果:本發明中加入環胺與鏈胺,能夠滲透、斷開光刻膠分子間弱結合力,能夠快速、有效地溶解光刻膠,而配方中加入潤濕劑,能夠有效地減少接觸角,增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時兩者的接觸角對比圖。圖2為配方一和配方二的剝離液應用是光刻膠的殘留量對比圖。具體實施方式現有技術中的剝離液其水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,本申請經過大量的試驗,創造性的發現,在剝離液中加入潤濕劑,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質,通過降低其表面張力或界面張力,使水能展開在固體物料。上海哪家剝離液供應ITO剝離液的配方是什么?
圖3是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖二,其離子注入步驟。圖4是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖三,其顯示離子注入后光刻膠形成了主要光刻膠層和第二光刻膠層。圖5是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖四,其顯示光刻膠膨脹。圖6是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖五,其顯示光刻膠炸裂到臨近光刻膠。圖7是一現有技術光刻膠剝離去除示意圖六,其顯示光刻膠去除殘留。圖8是本發明光刻膠剝離去除示意圖一,其顯示首先剝離去除主要光刻膠層。圖9是本發明光刻膠剝離去除示意圖二,其顯示逐步剝離去除第二光刻膠層的中間過程。圖10是本發明光刻膠剝離去除示意圖三,其顯示完全去除光刻膠后的襯底。圖11是采用現有技術剝離去除光刻膠殘留缺陷示意圖。圖12是采用本發明剝離去除光刻膠殘留缺陷示意圖。具體實施方式以下通過特定的具體實施例說明本發明的實施方式,本領域技術人員可由本說明書所公開的內容充分地了解本發明的其他優點與技術效果。本發明還可以通過不同的具體實施方式加以實施或應用,本說明書中的各項細節也可以基于不同觀點加以應用,在沒有背離發明總的設計思路下進行各種修飾或改變。需說明的是,在不的情況下,以下實施例及實施例中的特征可以相互組合。
按照玻璃基板傳送方向從當前腔室101開始逐級由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進行剝離制程。剝離液從當前腔室101進入相應的存儲箱20,在剝離液的水平面超過預設高度后流入過濾器30,再經過過濾器30的過濾將過濾后的剝離液傳送至下一級腔室102內。其中,薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑。其中,如圖2所示,圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第二種結構示意圖。閥門開關60設置在管道40及第二管道50上。在過濾器30被阻塞時,關閉位于過濾器30兩側的管道40及第二管道50上的閥門開關60,可以保證當前級腔室101對應的存儲箱20內剝離液不會流出,同時下一級腔室102內的剝離液也不會流出。在一些實施例中,請參閱圖3,圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第三種結構示意圖。過濾器30包括多個并列排布的子過濾器301,所述管道40包括多個子管道401,每一所述子管道401與一子過濾器301連通,且所述多個子管道401與當前級腔室101對應的存儲箱20連通。在一些實施例中,第二管道50包括公共子管道501及多個第二子管道502,每一所述第二子管道502與一子過濾器301連通,每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中。華星光電用的哪家的剝離液?
技術領域:本發明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法,可用于微納制造,光學領域,電學,生物領域,mems領域,nems領域。技術背景:微納制造技術是衡量一個國家制造水平的重要標志,對提高人們的生活水平,促進產業發展與經濟增長,保障**安全等方法發揮著重要作用,微納制造技術是微傳感器、微執行器、微結構和功能微納系統制造的基本手段和重要基礎。基于半導體制造工藝的光刻技術是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結構,再通過金屬的沉積和溶膠實現圖形反轉從而得到所需要的納米孔。然而傳統的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應等會造成曝光后的微納結構側壁呈現一定的角度(如正梯形截面),這會造成蒸發過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq,在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸,而氫氟酸常常會腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對于跨尺度高精度納米結構的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰。 什么制程中需要使用剝離液。銅陵市面上哪家剝離液私人定做
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隨著電子元器件制作要求的提高,相關行業應用對濕電子化學品純度的要求也不斷提高。為了適應電子信息產業微處理工藝技術水平不斷提高的趨勢,并規范世界超凈高純試劑的標準,國際半導體設備與材料組織(SEMI)將濕電子化學品按金屬雜質、控制粒徑、顆粒個數和應用范圍等指標制定國際等級分類標準。濕電子化學品在各應用領域的產品標準有所不同,光伏太陽能電池領域一般只需要G1級水平;平板顯示和LED領域對濕電子化學品的等級要求為G2、G3水平;半導體領域中,集成電路用濕電子化學品的純度要求較高,基本集中在G3、G4水平,分立器件對濕電子化學品純度的要求低于集成電路,基本集中在G2級水平。一般認為,產生集成電路斷絲、短路等物理性故障的雜質分子大小為**小線寬的1/10。因此隨著集成電路電線寬的尺寸減少,對工藝中所需的濕電子化學品純度的要求也不斷提高。從技術趨勢上看,滿足納米級集成電路加工需求是超凈高純試劑今后發展方向之一。 浙江格林達剝離液銷售價格