更推薦滿足。參照?qǐng)D4,在添加劑(硅烷系偶聯(lián)劑)的aeff處于,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良**少化,在硅烷系偶聯(lián)劑的aeff處于,能夠使氧化物膜損傷不良**少。因此,在利用上述范圍所重疊范圍(規(guī)格(spec)滿足區(qū)間)即aeff為2以上,能夠使因副反應(yīng)氧化物的殘留時(shí)間變長(zhǎng)而氮化物膜未被完全去除的不良以及氧化物膜損傷不良**少化。在上述添加劑的aeff值處于上述范圍內(nèi)的情況下,上述添加劑可以具有適宜水平的防蝕能力,由此,即使沒有消耗費(fèi)用和時(shí)間的實(shí)際的實(shí)驗(yàn)過程,也能夠選擇具有目標(biāo)防蝕能力的硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑。本發(fā)明的上述硅烷系偶聯(lián)劑等添加劑推薦按照保護(hù)對(duì)象膜(氧化物膜)的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。例如,對(duì)于包含氧化物膜(例如,sio2)和上述氧化物膜上的氮化物膜(例如,sin)的膜在160℃以添加劑濃度1000ppm基準(zhǔn)處理10,000秒的情況下,推薦按照保護(hù)對(duì)象膜的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度添加。本發(fā)明的添加劑的防蝕能力可以通過上述添加劑的aeff值與濃度之積來計(jì)算,由蝕刻程度(etchingamount,e/a)來表示。蝕刻程度的正的值表示蝕刻工序后厚度增加。BOE蝕刻液的溶液成分。池州蝕刻液報(bào)價(jià)
將hno3、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對(duì)應(yīng)的原料罐,備用;第三步:根據(jù)混酸配制表算出各個(gè)原料的添加量,按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調(diào)配罐,將上述混料充分?jǐn)嚢瑁瑪嚢钑r(shí)間為3~5h;第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,繼續(xù)攪拌混勻,攪拌時(shí)間為3~5h,用磁力泵將混合液通過過濾器循環(huán)過濾。作為推薦的技術(shù)方案,所述磁力泵出口壓力≤,過濾器入口壓力≤。根據(jù)制備銅蝕刻液的原料確定磁力泵的出口壓力和過濾器的入口壓力,包裝原料可以被充分過濾。作為推薦的技術(shù)方案,所述調(diào)配罐內(nèi)的溫度設(shè)定在30~35℃。調(diào)配罐的溫度不能超過35℃,由于過氧化氫的密度隨溫度的升高而減小,因此保證交底的反應(yīng)溫度有助于保證原料體系的穩(wěn)定作為推薦的技術(shù)方案,所述過濾器的微濾膜孔徑為~μm。作為推薦的技術(shù)方案,第三步中各種原料在~,調(diào)配罐內(nèi)填充氮?dú)猓瑪嚢杷俣葹?0~50r/min。作為推薦的技術(shù)方案,原料罐和調(diào)配罐大拼配量不超過罐容積的80%。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:本發(fā)明在制備酸性銅蝕刻液的過程中,用低溫純水(10℃)替代常溫純水(25℃),將低溫純水加入反應(yīng)體系中,降低反應(yīng)體系的反應(yīng)溫度。江蘇京東方用的蝕刻液蝕刻液銷售價(jià)格如何挑選一款適合公司的蝕刻液?
本實(shí)用涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置。背景技術(shù):近年來,人們對(duì)半導(dǎo)體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時(shí),對(duì)于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化、高性能化的要求也越來越嚴(yán)格,而蝕刻的效果能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞,影響高密度細(xì)導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量,為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過程中,對(duì)蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導(dǎo)體裝置的配線的斷路、短路,得到較高的成品率,為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,在蝕刻液中需要加入多種組分,而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合。現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置密封性差,連接安裝步驟繁瑣,還需要使用工具才能進(jìn)行連接安裝或拆卸,而且現(xiàn)有的高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置沒有過濾的部件,蝕刻液中的各組份蝕刻液雜質(zhì)含量多,且多種強(qiáng)酸直接共混存在較大的安全隱患,裝置不夠完善,難以滿足現(xiàn)代社會(huì)的需求。所以,如何設(shè)計(jì)高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,成為我們當(dāng)前需要解決的問題。
影響ITO堿性氯化銅蝕刻液蝕刻速率的因素:1、Cu2+離子濃度的影響:Cu2+是氧化劑,所以Cu2+的濃度是影響蝕刻速率的主要因素。研究銅濃度與蝕刻速率的關(guān)系表明:在0~82g/L時(shí),蝕刻時(shí)間長(zhǎng);在82~120g/L時(shí),蝕刻速率較低,且溶液控制困難;在135~165g/L時(shí),蝕刻速率高且溶液穩(wěn)定;在165~225g/L時(shí),溶液不穩(wěn)定,趨向于產(chǎn)生沉淀。2、氯化銨含量的影響:通過蝕刻再生的化學(xué)反應(yīng)可以看出:[Cu(NH3)2]+的再生需要有過量的NH3和NH4Cl存在,如果溶液中缺乏NH4Cl,大量的[Cu(NH3)2]+得不到再生,蝕刻速率就會(huì)降低,以致失去蝕刻能力。所以,氯化銨的含量對(duì)蝕刻速率影響很大。隨著蝕刻的進(jìn)行,要不斷補(bǔ)加氯化銨。「博洋化學(xué)」專業(yè)生產(chǎn)蝕刻液廠家,提供一站式服務(wù)蝕刻液歡迎咨詢.
本實(shí)用新型涉及資源回收再利用領(lǐng)域,特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置。背景技術(shù):線路板生產(chǎn)工業(yè)中,會(huì)對(duì)已經(jīng)使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進(jìn)行回收利用,在回收過程中,廢液在加熱器中通過蒸汽進(jìn)行換熱,換熱完的廢液在高溫狀態(tài)下進(jìn)入分離器,會(huì)在分離器中發(fā)生閃蒸,閃蒸產(chǎn)生的二次蒸汽中,攜帶有大小不等的液滴,現(xiàn)有技術(shù)因缺乏有效的分離氣液的手段,含有銅的液體隨著蒸汽被排走,導(dǎo)致了產(chǎn)品發(fā)生損失。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:基于此,有必要針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)氣液分離率低的問題,提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器,所述分離器設(shè)有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,所述液體入口用于將加熱器產(chǎn)生的液體輸入至分離器中,所述液體入口處設(shè)有減壓閥,所述蒸汽出口處設(shè)有真空泵、除霧組件及除沫組件,所述除霧組件用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體,所述除沫組件用于將經(jīng)除霧組件除霧的氣體進(jìn)行除沫。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述除霧組件為設(shè)有多個(gè)平行且曲折的通道的折流板。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述除沫組件為絲網(wǎng)。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器設(shè)有液位計(jì)、液位開關(guān)、液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個(gè)實(shí)施例中。蘇州BOE蝕刻液的價(jià)格。池州江化微的蝕刻液蝕刻液哪里買
蝕刻液可以從哪里購買到;池州蝕刻液報(bào)價(jià)
使硝酸鉀儲(chǔ)罐21和其它儲(chǔ)罐的內(nèi)部形成一個(gè)密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進(jìn)入儲(chǔ)罐內(nèi),有效的提高了裝置使用的密封性;緊接著,將磷酸與醋酸在個(gè)攪拌倉23中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆颍缓笤诘诙€(gè)攪拌倉23中與硝酸充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚝螅龠M(jìn)入配料罐中混合,將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個(gè)攪拌倉23混合后再進(jìn)入第四個(gè)攪拌倉23中,與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個(gè)攪拌倉23中混合均勻,然后過濾后封裝,先檢查過濾板26進(jìn)行更換或安裝,過濾部件9的內(nèi)部?jī)蓚?cè)嵌入連接有過濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進(jìn)行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過濾板26過濾出,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強(qiáng)酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患;,通過過濾部件9將蝕刻液進(jìn)行過濾,過濾部件9設(shè)置有一個(gè),過濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè),過濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進(jìn)行過濾,且過濾部件9能將內(nèi)部的過濾板26進(jìn)行拆卸更換,將過濾部件9的內(nèi)部進(jìn)行清洗,在將過濾部件9進(jìn)行連接安裝時(shí),將滑動(dòng)蓋24向外側(cè)滑動(dòng)。池州蝕刻液報(bào)價(jià)