etchingamount)的相互關系的圖表。具體實施方式本發明人確認了用于氮化物膜去除工序用蝕刻液組合物的具有防蝕能力的添加劑在滿足特定參數值時能夠使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性去除氮化物膜且不損傷氧化物膜的效果極大化,從而完成了本發明。本發明包括選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*將氮化物膜選擇性去除的能力優異的添加劑的方法、由此選擇的添加劑、包含上述添加劑的蝕刻液組合物以及利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。本發明中,蝕刻對象膜可以為氮化物膜,保護對象膜可以為氧化物膜。此外,本發明的上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯劑。<蝕刻液組合物>具體而言,本發明可以包含磷酸、添加劑和水,上述添加劑可以為硅烷(silane)系偶聯劑。本發明的上述添加劑的特征在于,使上述添加劑的反應位點(activesite)的數量除以上述添加劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以(參照以下數學式)滿足。本發明中,各添加劑的反應位點(activesite)的數量和添加劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量的例子示于表3中。此外,由此計算的各添加劑的aeff值和與此有關的蝕刻程度的例示示于表2中。參照上述結果,可以確認到上述添加劑的aeff值推薦滿足。蝕刻液應用于什么樣的場合?綿陽銀蝕刻液蝕刻液銷售公司
本發明涉及銅蝕刻液技術領域,具體涉及一種酸性銅蝕刻液的生產工藝。背景技術:高精細芯片和顯示集成電路主要采用銅制程,其光刻工藝中形成銅膜層結構所需用的銅刻蝕液中主要的為過氧化氫系銅刻蝕液。過氧化氫系銅蝕刻液較其他銅刻蝕液體系(如三氯化鐵體系,過硫酸銨體系)具有不引人其他金屬離子在銅層表面或線路體系中,產物親和、友好、環境污染少,刻蝕效率高且使用壽命較長的特點。大部分過氧化氫系銅刻蝕液包括參與氧化的過氧化氫組分、參與溶解的無機酸/有機酸組分,以及部分銅緩蝕劑等各類添加三個部分。由于銅蝕刻液中各物質的反應為放熱反應,體系中又含有過氧化氫在制備銅蝕刻液的生產過程中需要保證生產安全。技術實現要素:本發明的目的在于,克服現有技術中存在的缺陷,提供一種銅蝕刻液大規模量產的生產工藝,該生產工藝溫控嚴格,生產過程中安全性高。為實現上述目的,本發明的技術方案是設計一種酸性銅蝕刻液的生產工藝,所述工藝包括以下步驟:第一步:將純水進行低溫處理,使純水溫度≤10℃在純水罐中備用;第二步:配制和準備原料,將亞氨基二乙酸、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應的原料罐中,經過過濾器循環過濾,備用。揚州銅蝕刻液蝕刻液推薦貨源蝕刻液的分類可以分為哪些?
如前文所述,必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經由該復數個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示)。再者,請再參閱圖10至圖12所示,為本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔與斜錐孔混合的態樣(如圖10所示),或是全部為斜錐孔的態樣(如圖11所示),其中該宣泄孔121具有一***壁面1211與一第二壁面1212,且該第二擋板12具有一下表面122,當該宣泄孔121為斜錐孔的態樣時,該***壁面1211與該下表面122的***夾角θ1不同于該第二壁面1212與該下表面122的第二夾角θ2,亦即該***壁面1211與該第二壁面1212可不互相平行,但應避免該***夾角θ1與該第二夾角θ2差距過大而造成毛細現象破除;此外,當該宣泄孔121為斜錐孔態樣時。
618光電行業ITO**蝕刻液,專門針對氧化銦錫(ITO)玻璃導電薄膜鍍層圖線的脫膜蝕刻,它對于高阻抗ITO玻璃導電膜(PET-ITO)以及低阻抗ITO玻璃導電膜(PET-ITO)都且有優良的蝕刻速度與效果。具有速度快、側蝕小、無沉淀、氣味小、不攻擊抗蝕層,不攻擊基材,操作控制簡便靈活等非常***的優點,可采取自動控制系統補加,也可人工補加方式。更重要的是絲毫不改變產品的導電阻抗電性數據。二、產品特點1)速度快市場之一般ITO蝕刻液速度大都在0.5nm/s,而KBX-618AITO蝕刻液蝕刻速度正常控制在2-10nm/s,速度快(具體設備情況有所差異)2)氣味小、無煙霧、對皮膚刺激*目前市場蝕刻液一般有強烈之氣味,溫度升高后放出一種刺鼻氣味,對操作人員身體健康和工作環境極為不利,但KBX-618A酸性蝕刻液采用的是有機活性添加劑3、用于有機基材膜,及各類玻璃底材,不影響生產材料導電阻抗數據。不攻擊底材,不攻擊抗蝕膜。KBX-556ITO**褪膜液一、產品簡介KBX-556引進國外配方,采用進口原料,非常規易燃溶劑,即非有毒醇醚硫等物質,是采用環保的極性活性劑,可以有效、快速地去除水溶性干膜,在板面不會留下殘渣。在褪極細線寬線距板時效果尤其明顯,不會攻擊聚酰亞胺,PET,ITO,硅晶體,液晶屏,及弱金屬。ITO蝕刻液的配方是什么?
且過濾部件能將內部的過濾板進行拆卸更換,有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,連接構件,連接構件設置在攪拌倉的底部,連接構件與攪拌倉固定連接,連接構件能將裝置主體內部的兩個構件進行連接并固定,且在將兩構件進行連接或拆卸的時候,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,有效的提高了裝置連接的實用性。附圖說明圖1為本實用新型的整體結構示意圖;圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖;圖3為本實用新型的連接構件剖視圖;圖4為本實用新型的內部構件連接框架圖。圖中:1、裝置主體,2、支撐腿,3、電源線,4、單片機,5、控制器,6、防滑紋,7、密封閥門(z45x-16),8、收集倉,9、過濾部件,10、常閉式密封電磁閥(zca-15biii02-10),11、連接構件,12、海綿層,13、攪拌電機(5ik),14、去離子水儲罐,15、磷酸儲罐,16、醋酸儲罐,17、硝酸儲罐,18、陰離子表面活性劑儲罐,19、聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,20、氯化鉀儲罐,21、硝酸鉀儲罐,22、密封環,23、攪拌倉,24、滑動蓋,25、收縮彈簧管,26、過濾板,27、螺紋管,28、活動軸,29、密封軟膠層。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖。什么樣的蝕刻液可以蝕刻鋁同時保護銅?安慶京東方用的蝕刻液蝕刻液銷售價格
「博洋化學」蝕刻劑廠家,質優價實,行業靠譜!綿陽銀蝕刻液蝕刻液銷售公司
12、伸縮桿;13、圓環塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號排液管;18、一號電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號排液管;23、二號電磁閥;24、傾斜板;25、活動板;26、蓄水箱;27、進水管;28、抽水管;29、三號電磁閥;30、控制面板。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。請參閱圖1-5,本發明提供一種技術方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內部中間位置設置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側安裝有進液漏斗6,進液漏斗6上設置有過濾網7,裝置主體1內部靠近頂端設置有進液管8,進液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。綿陽銀蝕刻液蝕刻液銷售公司